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KOH溶液中氮化鋁的濕化學蝕刻

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什么是氮化鎵(GaN)?

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誰發明了氮化鎵功率芯片?

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國瓷材料:DPC陶瓷基板國產化突破

氮化鋁為大功率半導體優選基板材料。氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、 氮化鋁(AlN)和氮化硅(Si3N4)4 種材料是已經投入生產應用的主要陶瓷基板 材料,其中氧化鋁技術成熟度最高、綜合性能好、性價比高,是功率器件最為常用 的陶瓷基板,市占率達 80%以上。
2023-05-31 15:58:35876

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結構的一種非常有用的技術。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發現了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數據,提出了一種預測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

氮化鎵在射頻領域的優勢盤點

氮化鎵是一種二元III/V族直接帶隙半導體晶體,也是一般照明LED和藍光播放器最常使用的材料。另外,氮化鎵還被用于射頻放大器和功率電子器件。氮化鎵是非常堅硬的材料;其原子的化學鍵是高度離子化的氮化化學鍵,該化學鍵產生的能隙達到3.4 電子伏特。
2023-05-26 10:10:41758

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業人員。因此,英思特開發了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

一種新型氮化鋁(AlN)壓電傳感器

休斯頓大學研究團隊之前開發出了III-N壓電傳感器,該傳感器由單晶氮化鎵薄膜制成,但在溫度高于350℃時,其靈敏度會降低。
2023-05-25 12:49:19362

美國休斯頓大學:開發出一種新型氮化鋁傳感器,并證實其可以在高達900℃的高溫下工作

? ? 傳感新品 【美國休斯頓大學:開發出一種新型氮化鋁傳感器,并證實其可以在高達900℃的高溫下工作】 航空航天、能源、運輸和國防等關鍵行業需要能在極端環境下工作的傳感器,以測量和監測多種
2023-05-23 08:39:45596

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484917

高導熱填料球形氮化鋁的作用應用領域

,且熱膨脹不匹配導致的高熱應力會導致永久的結構層面的機械故障。AlN的熔點高達2500℃,可用作高溫耐熱材料。同時,氮化鋁的熱膨脹系數(CTE,4.5×10–6/℃)相對較低,接近于Si及SiC,能夠提供更好的熱可靠性。因此,基于氮化鋁陶瓷芯片級封裝的超高溫(500℃以上)微電子器件成為有效方案。
2023-05-17 15:34:32418

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

氮化鋁陶瓷在陶瓷線路板行業中的占比越來越高

以上這些問題和挑戰,對于氮化鋁陶瓷的應用和發展都是有一定影響的,但隨著斯利通技術的不斷進步,相信這些問題都可以得到逐步解決。
2023-05-11 17:35:22768

99氧化鋁陶瓷基板為什么比96氧化鋁陶瓷貴

探討這個問題前,我們先來了解下什么是99%氧化鋁陶瓷:99.6%的氧化鋁陶瓷是一種高純度、高硬度、高溫度抗性和高耐腐蝕性的工程陶瓷材料,其中氧化鋁含量高達99.6%以上。它具有良好的物理、化學
2023-05-11 11:02:13955

氮化鋁陶瓷基板高導熱率的意義

隨著新能源汽車的快速發展。陶瓷基板,特別是氮化鋁陶瓷基板作為絕緣導熱材料得到了很大的應用。目前市場以170w/m.k的材料為主,價格很貴,堪稱陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的價格就要實惠
2023-05-07 13:13:16408

導熱基礎材料導熱填料填充硅脂導熱工藝

導熱填料顧名思義就是添加在基體材料中用來增加材料導熱系數的填料,常用的導熱填料有氧化鋁、氧化鎂、氧化鋅、氮化鋁氮化硼、碳化硅等;其中,尤以微米級氧化鋁、硅微粉為主體,納米氧化鋁,氮化物做為高導熱
2023-05-05 14:04:03984

氮化鋁陶瓷基板高導熱率的意義

隨著新能源汽車的快速發展。陶瓷基板,特別是氮化鋁陶瓷基板作為絕緣導熱材料得到了很大的應用。目前市場以170w/m.k的材料為主,價格很貴,堪稱陶瓷界的皇冠。而120-130w/m.k的價格就要實惠很多。那他們的散熱表現差別有多少?先說結論:差別很小,考慮裝配應用等因素外,基本可以忽略。
2023-05-04 12:11:36301

酸性化學品供應控制系統

[技術領域] 本實用新型涉及半導體制造技術領域,具體地說是一種酸性化學品供應控制系 統。 由于半導體行業中芯片生產線的工作對象是硅晶片,而能在硅晶片上蝕刻圖形 以及清洗硅晶片上的雜質、微粒子的化學
2023-04-20 13:57:0074

化鋁陶瓷基片在電路中的應用優勢

化鋁陶瓷基片作為一種基板材料廣泛應用于射頻微波電子行業,其介電常數高可使電路小型化,其熱穩定性好溫漂小,基片強度及化學穩定性高,性能優于其他大部分氧化物材料,可應用于各類厚膜電路、薄膜電路、混合電路、微波組件模塊等。
2023-04-19 16:14:48602

《炬豐科技-半導體工藝》 HQ2和HF溶液循環處理 ?

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:HQ2和HF溶液循環處理 編號:JFKJ-21-213 作者:炬豐科技 摘要 采用原子顯微鏡研究了濕法化學處理過程中的表面形貌。在SC-1清洗過程中,硅表面
2023-04-19 10:01:00129

誰才是最有發展前途的封裝材料呢?

目前,常用電子封裝陶瓷基片材料包括氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化鈹(BeO)、碳化硅(SiC)等。那么,誰才是最有發展前途的封裝材料呢?
2023-04-13 10:44:04801

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

從頭到尾的半導體技術

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質不良的問題?

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質不良的問題?以及問題如何解決呢?
2023-04-06 15:51:01

氮化鋁單晶的濕法化學蝕刻

清洗過程在半導體制造過程中,在技術上和經濟上都起著重要的作用。超薄晶片表面必須實現無顆粒、無金屬雜質、無有機、無水分、無天然氧化物、無表面微粗糙度、無充電、無氫。硅片表面的主要容器可分為顆粒、金屬雜質和有機物三類。
2023-03-31 10:56:19314

化鋁陶瓷基板的晶體結構、分類及性能

化鋁有許多同質異晶體,例如α-Al2o3、β-Al2o3、γ-Al2o3等,其中以α-Al2o3的穩定性較高,其晶體結構緊密、物理性能與化學性能穩定,具有密度與機械強度較高的優勢,在工業中的應用也較多。
2023-03-30 14:10:221079

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

調溫調箱的特點介紹

調溫調箱全名“恒溫恒試驗箱”是航空、汽車、家電、科研等領域必備的測試設備,用于測試和確定電工、電子及其他產品及材料進行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗的溫度環境變化后的參數及性能,它主要用于根據試驗
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰性。
2023-03-27 10:17:49402

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