納米技術(shù)是在原子或分子水平上操控物質(zhì)的能力，以便我們在納米尺度上進行制造。通常有兩種實施方法：自上而下和自下而上。在自上而下的方法中，設(shè)備和結(jié)構(gòu)的制作采用了許多與MEMS相同的技術(shù)，它們的尺寸更小，通常是通過采用更先進的光刻和蝕刻方法。自下而上的方法通常涉及沉積、生長或自組裝技術(shù)。與MEMS相比，納米設(shè)備的優(yōu)勢主要來自于縮放規(guī)律，這也會帶來一些挑戰(zhàn)。

有時MEMS和納米技術(shù)被看作獨立的技術(shù)，但實際上這兩者之間的區(qū)別并不明顯。事實上，這兩種技術(shù)是高度相互依賴的。比如，掃描隧道尖端顯微鏡(STM)是一種MEMS設(shè)備，用于檢測納米尺度上的單個原子和分子。同樣，用于操縱基底表面上單個原子和分子的位置的原子力顯微鏡(AFM)也是一種MEMS設(shè)備。

同樣地，許多MEMS技術(shù)也開始依賴納米技術(shù)來獲得成功的新產(chǎn)品。例如，使用MEMS技術(shù)制造的碰撞安全氣囊加速計，由于證明質(zhì)量和基體之間的動態(tài)使用中的摩擦效應(yīng)，其長期可靠性會下降。一種叫做自組裝單層(SAM)涂層的納米技術(shù)現(xiàn)在被常規(guī)用于處理移動MEMS元件的表面，以防止在產(chǎn)品的使用壽命中出現(xiàn)摩擦效應(yīng)。

以下是MEMS結(jié)合納米技術(shù)的一些應(yīng)用及研究：

1、應(yīng)用于生物技術(shù)

MEMS和納米技術(shù)正在促成科學(xué)和工程領(lǐng)域的新發(fā)現(xiàn)，如用于DNA擴增和鑒定的聚合酶鏈?zhǔn)椒磻?yīng)(PCR)微系統(tǒng)、酶聯(lián)免疫吸附試驗(ELISA)、毛細管電泳、電穿孔、微機械掃描隧道顯微鏡(STM)、用于檢測危險化學(xué)和生物制劑的生物芯片，以及用于高通量藥物篩選的微系統(tǒng)。

2、應(yīng)用于醫(yī)學(xué)

MEMS在醫(yī)學(xué)上有廣泛的應(yīng)用。MEMS壓力傳感器是MEMS在醫(yī)學(xué)上的第一個也是迄今為止最成功的應(yīng)用，它已經(jīng)使用了幾十年。這些壓力傳感器的市場非常多樣化，而且高度分散。

MEMS壓力傳感器在醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用包括：

(1)一次性的MEMS壓力傳感器，這是醫(yī)療領(lǐng)域的最大市場。用于監(jiān)測重癥監(jiān)護病人靜脈輸液管的血壓。它取代了，那些需要反復(fù)消毒、重新校準(zhǔn)的老設(shè)備，并且也成本下降至10美元。

(2)MEMS壓力傳感器用于測量分娩時的宮內(nèi)壓力。該設(shè)備裝在一根導(dǎo)管里，被放在嬰兒的頭部和子宮壁之間。在分娩過程中，嬰兒的血壓會在母親的宮縮過程中被監(jiān)測到問題。

(3)MEMS壓力傳感器在醫(yī)院和救護車上被用作病人生命體征的監(jiān)測器，特別是病人的血壓和呼吸。

(4)呼吸監(jiān)測中的MEMS壓力傳感器用于呼吸機，監(jiān)測病人的呼吸。

(5)MEMS壓力傳感器用于眼科手術(shù)，測量和控制用于從眼睛中取出液體的真空度，在手術(shù)過程中，液體會被清理掉碎片并被替換回眼睛中。

(6)用于燒傷患者的特殊病床采用充氣式床墊，使用MEMS壓力傳感器來調(diào)節(jié)床墊中一系列獨立充氣室的壓力。床墊的各個部分可以根據(jù)需要進行充氣，以減少疼痛，并改善病人的愈合。

(7)醫(yī)生辦公室和醫(yī)院的血液分析儀采用MEMS壓力傳感器作為氣壓校正，以分析病人血液中的氧氣、二氧化碳、鈣、鉀和葡萄糖的濃度。

(8)MEMS壓力傳感器用于吸入器，監(jiān)測病人的呼吸周期，并在呼吸周期的適當(dāng)時間釋放藥物，以達到最佳效果。

(9)MEMS壓力傳感器用于腎臟透析，監(jiān)測血液和透析液的進口和出口壓力，并在透析過程中調(diào)節(jié)流速。

(10)MEMS壓力傳感器用于多種類型的藥物輸液泵，以監(jiān)測流速，并檢測是否有阻塞物和堵塞物，這些阻塞物表明藥物沒有被正確地輸送到病人體內(nèi)。

所有這些應(yīng)用對病人護理的貢獻都是巨大的。最近，具備無線訪問能力的MEMS壓力傳感器，已經(jīng)被開發(fā)出來，并在市場上銷售，它具有無線詢問能力。它可以被植入人體，并且可以使用遠程掃描棒測量壓力。另一個應(yīng)用是MEMS慣性傳感器，特別是加速計和速率傳感器，用于人體活動監(jiān)測。慣性傳感器在醫(yī)學(xué)上最重要的應(yīng)用也許是在心臟起搏器中，它們被用來幫助確定基于病人活動水平的最佳起搏率。MEMS設(shè)備也開始被用于藥物輸送設(shè)備，包括非臥床和植入式應(yīng)用。MEMS電極也正被用于神經(jīng)信號檢測和神經(jīng)刺激應(yīng)用。各種用于侵入性和非侵入性的生物和化學(xué)MEMS傳感器已開始上市。片上實驗室和小型化生化分析儀器也正在市場上銷售。

3、應(yīng)用于通訊

高頻電路正從RF-MEMS技術(shù)的出現(xiàn)中獲益匪淺。如果使用MEMS和納米技術(shù)，電感器和可調(diào)諧電容器等電氣元件與集成的同類元件相比，可以得到明顯的改善。隨著這類元件的集成，通信電路的性能將得到改善，而總的電路面積、功耗和成本將得到降低。此外，由幾個研究小組開發(fā)的機械開關(guān)，是在各種射頻和微波電路中具有巨大潛力的關(guān)鍵部件。所展示的機械開關(guān)樣品的質(zhì)量系數(shù)遠遠高于以前的任何產(chǎn)品。RF-MEMS的另一個成功應(yīng)用是在諧振器中作為通信電路的機械過濾器。

4、慣性感應(yīng)

MEMS慣性傳感器，特別是加速計和陀螺儀，正在迅速獲得市場認可。例如，MEMS加速度計已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的加速度計，用于汽車的碰撞安全氣囊部署系統(tǒng)。以前的技術(shù)方法使用了幾個笨重的加速度計，由分立元件組成，安裝在汽車前部，在安全氣囊附近有獨立的電子裝置，每個裝置的成本超過50美元。MEMS技術(shù)使得將加速度計和電子器件集成到一個硅芯片上成為可能，成本只

有幾美元。這些MEMS加速度計更小，功能更多，更輕，更可靠，而且生產(chǎn)成本僅為傳統(tǒng)宏觀規(guī)模加速度計元件的一小部分。最近，MEMS陀螺儀(即速率傳感器)已用于汽車和消費電子應(yīng)用。

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審核編輯：湯梓紅