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詳解硅晶片的熱氧化工藝

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倒裝晶片為什么需要底部填充

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倒裝晶片底部填充后的檢查

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2018-11-23 15:44:25

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2021-07-02 11:23:3644

晶片表面刻蝕工藝對碳硅太陽能電池特性的影響

引言 為了分析不同尺寸的金字塔結(jié)構(gòu)對太陽能電池特性的影響,我們通過各種刻蝕工藝在硅片上形成了金字塔結(jié)構(gòu)。在此使用一步蝕刻工藝(堿性溶液蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻(RIE)和金屬輔助化學(xué)蝕刻)以及兩步蝕刻工藝
2022-01-11 14:05:05822

半導(dǎo)體晶片濕蝕工藝的浮式數(shù)值分析

本研究透過數(shù)值解析,將實(shí)驗(yàn)上尋找硅晶片最佳流動(dòng)的方法,了解目前蝕刻階段流動(dòng)的形式,并尋求最佳晶片蝕刻條件,蝕刻工藝效率低利用氣泡提高濕法蝕刻工藝效果,用實(shí)驗(yàn)的方法尋找最佳流動(dòng),通過數(shù)值分析模擬了利用
2022-01-19 17:11:32340

用于蝕刻沖洗和干燥MEMS晶片的最佳工藝條件實(shí)驗(yàn)報(bào)告

本研究通過我們?nèi)A林科納對使用液體二氧化碳和超臨界二氧化碳進(jìn)行蝕刻和沖洗工藝的各種實(shí)驗(yàn)結(jié)果,選擇合適的共溶劑,獲得最佳的工藝條件,以提高工藝效率和生產(chǎn)率。通過基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)證實(shí)丙酮是有效的,并作為本研究
2022-02-08 17:04:28762

半導(dǎo)體工藝晶片清洗工藝評估

摘要 本文介紹了半導(dǎo)體晶片加工中為顆粒去除(清洗)工藝評估而制備的受污染測試晶片老化的實(shí)驗(yàn)研究。比較了兩種晶片制備技術(shù):一種是傳統(tǒng)的濕法技術(shù),其中裸露的硅晶片浸泡在充滿顆粒的溶液中,然后干燥;另一種
2022-03-04 15:03:502588

濺射工藝晶片碎片的影響

  介紹了半導(dǎo)體晶片制造設(shè)備濺射機(jī)和濺射工藝晶片碎片的影響,給出了如何減少晶片應(yīng)力以達(dá)到少碎片的目的。
2022-03-10 14:45:082

用濕化學(xué)工藝制備的超薄氧化硅結(jié)構(gòu)

近十年來,濕化學(xué)法制備超薄二氧化硅/硅和超薄二氧化硅/硅結(jié)構(gòu)的技術(shù)和研究取得了迅速發(fā)展。這種結(jié)構(gòu)最重要是與大尺寸硅晶片氧化物層的均勻生長有關(guān)。
2022-03-11 13:57:22828

DHF在氧化后CMP清洗工藝中的應(yīng)用

晶圓-機(jī)械聚晶(CMP)過程中產(chǎn)生的漿體顆粒對硅晶片表面的污染對設(shè)備工藝中收率(Yield)的下降有著極大的影響。
2022-03-14 10:50:141077

新型全化學(xué)晶片清洗技術(shù)詳解

本文介紹了新興的全化學(xué)晶片清洗技術(shù),研究它們提供更低的水和化學(xué)消耗的能力,提供了每種技術(shù)的工藝應(yīng)用、清潔機(jī)制、工藝效益和考慮因素、環(huán)境、安全和健康(ESH)效益和考慮因素、技術(shù)狀態(tài)和供應(yīng)商信息的可用信息。
2022-03-16 15:24:57308

晶硅晶片表面組織工藝優(yōu)化研究

本文章將對表面組織工藝優(yōu)化進(jìn)行研究,多晶硅晶片表面組織化工藝主要分為干法和濕法,其中利用酸或堿性溶液的濕法蝕刻工藝在時(shí)間和成本上都比較優(yōu)秀,主要適用于太陽能電池量產(chǎn)工藝。本研究在多晶晶片表面組織化工藝
2022-03-25 16:33:49516

晶片的化學(xué)蝕刻工藝研究

拋光的硅片是通過各種機(jī)械和化學(xué)工藝制備的。首先,通過切片將單晶硅錠切成圓盤(晶片),然后進(jìn)行稱為研磨的平整過程,該過程包括使用研磨漿擦洗晶片。 在先前的成形過程中引起的機(jī)械損傷通過蝕刻是本文的重點(diǎn)。在準(zhǔn)備用于器件制造之前,蝕刻之后是各種單元操作,例如拋光和清潔。
2022-04-28 16:32:37666

溢流晶片清洗工藝中的流場概述

引言 描述了溢流晶片清洗工藝中的流場。該信息被用于一項(xiàng)倡議,其主要目的是減少晶片清洗中的用水量。使用有限元數(shù)值技術(shù)計(jì)算速度場。大部分的水無助于晶片清洗。 介紹 清洗步驟占工廠中使用的ulaa純水
2022-06-06 17:24:461044

使用脈動(dòng)流清洗毯式和圖案化晶片工藝研究

表面和亞微米深溝槽的清洗在半導(dǎo)體制造中是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。在這項(xiàng)工作中,使用物理數(shù)值模擬研究了使用脈動(dòng)流清洗毯式和圖案化晶片。毯式晶片清洗工藝的初步結(jié)果與文獻(xiàn)中的數(shù)值和實(shí)驗(yàn)結(jié)果吻合良好。毯式和圖案化晶片的初步結(jié)果表明,振蕩流清洗比穩(wěn)定流清洗更有效,并且振蕩流的最佳頻率是溝槽尺寸的函數(shù)。
2022-06-07 15:51:37291

降低超薄柵氧化層漏電流的預(yù)氧化清洗方法

華林科納使用多步清洗工藝清洗晶片的半導(dǎo)體襯底表面,其中清洗工藝的最后一步包括用HMSO和HCO的溶液清洗,由此在晶片表面上形成化學(xué)氧化物初始層。此后,晶片的表面被氧化以形成熱氧化層,其中在集成電路的制造中,化學(xué)氧化
2022-06-17 17:20:40783

筆電表面處理——微弧氧化工藝是什么?

陰極材料:微弧氧化的陰極材料采用不溶性金屬材料。由于微弧氧化電解液多為堿性液,故陰極材料可采用碳鋼,不銹鋼或鎳。其方式可采用懸掛或以上述材料制作的電解槽作為陰極。
2022-09-06 11:56:362781

集成電路制造工藝中的氧化工藝(Oxidation Process)

濕氧氧化化學(xué)反應(yīng)式為H2O(水汽)+ Si = SiO2 +2H2;在濕氧工藝中,可在氧氣中直接攜帶水汽,也可以通過氫氣和氧氣反應(yīng)得到水汽,通過調(diào)節(jié)氫氣或水汽與氧氣的分壓比改變氧化速率。注意,為了確保安全,氫氣與氧氣的比例不得超過 1.88:1。
2022-10-27 10:46:537279

帆宣集團(tuán) 華友化工分公司代理美國康寧晶片表面形態(tài)測量系統(tǒng)

來源:華友化工國際貿(mào)易(上海) 隨著傳統(tǒng)工業(yè)技術(shù)改造、工廠自動(dòng)化以及企業(yè)信息化發(fā)展提速,產(chǎn)業(yè)鏈升級與自動(dòng)化提升也迫在眉睫。面對落后的產(chǎn)能和工藝,華友化工國際貿(mào)易(上海)有限公司針對美國康寧晶片表面
2023-05-17 10:23:16772

詳解半導(dǎo)體封裝測試工藝

詳解半導(dǎo)體封裝測試工藝
2023-05-31 09:42:18997

碳化硅晶片的超精密拋光工藝

使用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)方法對碳化硅晶片進(jìn)行了超精密拋光試驗(yàn),探究了滴液速率、拋光頭轉(zhuǎn) 速、拋光壓力、拋光時(shí)長及晶片吸附方式等工藝參數(shù)對晶片表面粗糙度的影響,并對工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,最終 得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子級光滑碳化硅晶片
2023-05-31 10:30:062215

6.3.3 熱氧化氧化硅的結(jié)構(gòu)和物理特性∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》

6.3.3熱氧化氧化硅的結(jié)構(gòu)和物理特性6.3氧化氧化硅/SiC界面特性第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術(shù)基本原理——生長、表征、器件和應(yīng)用》往期內(nèi)容:6.3.2氧化硅的介電性能∈《碳化硅技術(shù)基本原理
2022-01-04 14:10:56564

蓄熱式熱氧化裝置的儀表控制

通過對蓄熱式熱氧化裝置運(yùn)行控制模式的介紹,闡述了蓄熱式熱氧化裝置多個(gè)儀表設(shè)置的安全問題,根據(jù)聯(lián)鎖停爐的控制方式
2023-06-28 14:12:21618

切割工藝參數(shù)對6英寸N型碳化硅晶片的影響

采用砂漿多線切割工藝加工6英寸(1英寸=25.4 mm)N型碳化硅晶體,研究了此工藝中鋼線張力、 線速度、進(jìn)給速度等切割參數(shù)對晶片切割表面的影響。通過優(yōu)化切割工藝參數(shù),最終得到高平坦度、低翹曲度、 低線痕深度的6英寸N型碳化硅晶片
2023-08-09 11:25:311051

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541221

微弧氧化工藝是什么?微弧氧化技術(shù)工藝流程及參數(shù)要求

微弧氧化技術(shù)工藝流程 主要包含三部分:鋁基材料的前處理,微弧氧化,后處理三部分 其工藝流程如下:鋁基工件→化學(xué)除油→清洗→微弧氧化→清洗→后處理→成品檢驗(yàn)。
2023-09-01 10:50:341235

倒裝晶片的組裝工藝流程

相對于其他的IC元件,如BGA和CSP等,倒裝晶片裝配工藝有其特殊性,該工藝引入了助焊劑工藝和底部填充工 藝。因?yàn)橹竸埩粑铮▽煽啃缘挠绊懀┘皹蜻B的危險(xiǎn),將倒裝芯片貼裝于錫膏上不是一種可采用的裝配方法 。
2023-09-22 15:13:10352

倒裝晶片的組裝的回流焊接工藝

倒裝晶片在氮?dú)庵谢亓骱附佑性S多優(yōu)點(diǎn)。在較低氧氣濃度下回流焊接,條件比較寬松,可以獲得很好的焊接良 率。由于減少了氧化,可以獲得更好的潤濕效果,同時(shí)工藝窗口也較寬。在氮?dú)饣亓鳝h(huán)境中熔融的焊料表面張力 較大,元件具有很好的自對中性,可控坍塌連接會(huì)更完整,焊接良率也會(huì)較高。
2023-09-26 15:35:56379

深入解析鋁及鋁合金的陽極氧化工藝

多孔性 氧化膜具有多孔的蜂窩狀結(jié)構(gòu),膜層的空隙率決定于電解液的類型和氧化工藝條件。氧化膜的多孔結(jié)構(gòu),可使膜層對各種有機(jī)物、樹脂、地蠟、無機(jī)物、染料及油漆等表現(xiàn)出良好的吸附能力,可作為涂鍍層的底層,也可將氧化膜染成各種不同的顏色,提高金屬的裝飾效果。
2023-10-11 15:59:04901

PCB工藝流程詳解.zip

PCB工藝流程詳解
2022-12-30 09:20:249

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2023-03-01 15:37:447

LED外延芯片工藝流程及晶片分類

電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《LED外延芯片工藝流程及晶片分類.doc》資料免費(fèi)下載
2023-11-03 09:42:540

SMT關(guān)鍵工序再流焊工藝詳解

SMT關(guān)鍵工序再流焊工藝詳解
2024-01-09 10:12:30185

揭秘芯片制造工藝——硅的氧化過程

由于只有熱氧化法可以提供最低界面陷阱密度的高質(zhì)量氧化層,因此通常采用熱氧化的方法生成柵氧化層和場氧化層。
2024-03-13 09:49:05103

導(dǎo)熱氧化鋁粉用在動(dòng)力電池中的作用

導(dǎo)熱氧化鋁在動(dòng)力電池中扮演著非常重要的角色,主要作用是幫助電池管理系統(tǒng)(Battery Management System, BMS)有效地進(jìn)行熱管理。以下是導(dǎo)熱氧化鋁在動(dòng)力電池中的一些具體作用
2024-03-22 14:53:3945

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