本文研究了金屬蝕刻殘留物，尤其是鈦和鉭殘留物對等離子體成分和均勻性的影響。通過所謂的漂浮樣品的x射線光電子能譜分析來分析室壁，并且通過光發(fā)射光譜來監(jiān)測Cl2、HBr、O2和SF6等離子體中的Cl
2022-05-05 14:26:56
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等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如，IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕，等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:312625 液晶顯示器(LCD)之后的最新顯示技術(shù)之一。這種顯示器能夠用作適應(yīng)數(shù)字化時(shí)代的各種多媒體顯示器，適用于制造大屏幕和薄型彩色電視機(jī)等，有著廣闊的應(yīng)用前景。等離子體顯示器具有體積小、重量輕、無X射線輻射
2011-01-06 16:09:23
等離子顯示器的工作原理是什么？ＰＤＰ等離子顯示器有哪些特點(diǎn)？等離子顯示器比傳統(tǒng)的顯像管和ＬＣＤ液晶顯示器具有哪些技術(shù)優(yōu)勢？
2021-06-07 06:06:32
】：1引言電子元器件在生產(chǎn)過程中由于手印、焊劑、交叉污染、自然氧化等，其表面會(huì)形成各種沾污。這些沾污包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、焊料、金屬鹽等，會(huì)明顯影響電子元器件在生產(chǎn)過程中的相關(guān)工藝質(zhì)量，例如繼電器的接觸電阻，從而降低了電子元器件的可靠性和成品合格率。等離子體是全文下載
2010-06-02 10:07:40
空間。在兩塊玻璃基板的內(nèi)側(cè)面上涂有金屬氧化物導(dǎo)電薄膜作激勵(lì)電極。 當(dāng)向電極上加入電壓，放電空間內(nèi)的混合氣體便發(fā)生等離子體放電現(xiàn)象。色彩還原能力好，顯示色彩自然。由于等離子電視是通過紫外線激發(fā)熒光粉發(fā)光
2014-02-10 18:20:48
當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后，高頻電流I通過感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(綠色)。開始時(shí)，管內(nèi)為Ar氣，不導(dǎo)電，需要用高壓電火花觸發(fā)，使氣體電離后，在高頻交流電場的作用下，帶電粒子高速運(yùn)動(dòng)，碰撞，形成“雪崩”式放電，產(chǎn)生等離子體氣流。
2019-10-09 09:11:46
合有局限，不適用于聚四氟乙烯微波板的三防涂覆前處理。 基于以上原因，開展了應(yīng)用等離子體處理法替代鈉萘處理法進(jìn)行聚四氟乙烯表面活化處理的研究工作。
2019-05-28 06:50:14
近年來，等離子體技術(shù)的使用范圍正在不斷擴(kuò)大。在半導(dǎo)體制造、殺菌消毒、醫(yī)療前線等諸多領(lǐng)域，利用等離子體特性的應(yīng)用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發(fā)的等離子體發(fā)生器，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，它可以在
2022-05-18 15:16:16
等離子體顯示器又稱電漿顯示器，是繼CRT(陰極射線管）、LCD（液晶顯示器）后的最新一代顯示器，其特點(diǎn)是厚度極薄，分辨率佳。可以當(dāng)家中的壁掛電視使用，占用極少的空間，代表了未來顯示器的發(fā)展趨勢（不過對于現(xiàn)在中國大多...
2021-04-20 06:33:47
PCB多層板等離子體處理技術(shù)等離子體，是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光，也有稱其為抄板物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是由于原子中激化的電子和分子無序運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，所以具有相當(dāng)高的能量。麥|斯|艾|姆|P
2013-10-22 11:36:08
等離子體，是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光，也有稱其為抄板物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是由于原子中激化的電子和分子無序運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，所以具有相當(dāng)高的能量。 (1)機(jī)理： 在真空室內(nèi)部的氣體分子里
2018-11-22 16:00:18
活性的表面，從而提高阻焊膜層的附著力。 (5) 殘留物去除 等離子體技術(shù)在殘留物的去除方面，主要有著下述三方面的作用： (A) 在印制電路板制造，尤其在精細(xì)線條制作時(shí)，等離子體被用來蝕刻前去除干膜
2018-09-21 16:35:33
`電路板廠家生產(chǎn)高密度多層板要用到等離子體切割機(jī)蝕孔及等離子體清洗機(jī).大致的生產(chǎn)工藝流程圖為:PCB芯板處理→涂覆形成敷層劑→貼壓涂樹脂銅箔→圖形轉(zhuǎn)移成等離子體蝕刻窗口→等離子體切割蝕刻導(dǎo)通孔→化學(xué)
2017-12-18 17:58:30
109ion/cm3的數(shù)量級，因此電容式電漿用于蝕刻時(shí)，基本上是具有物物理蝕刻和化學(xué)蝕刻雙重作用的合成，限于等離子體密度無法提高，單位面積內(nèi)的活化離子數(shù)目以及化學(xué)蝕刻反應(yīng)也受到了帶電粒子數(shù)目的限制，在
2012-09-25 16:21:58
近年來，等離子體技術(shù)的使用范圍正在不斷擴(kuò)大。在半導(dǎo)體制造、殺菌消毒、醫(yī)療前線等諸多領(lǐng)域，利用等離子體特性的應(yīng)用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發(fā)的等離子體發(fā)生器，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，它可以在
2022-05-17 16:41:13
關(guān)于舉辦2020年會(huì)-COMSOL半導(dǎo)體器件+等離子體+RF光電+電化學(xué)燃燒電池專題”的通知COMSOL Multiphysics 燃料電池、電化學(xué)模塊1.電化學(xué)-熱耦合方法2. 傳質(zhì)-導(dǎo)電-電化學(xué)
2019-12-10 15:24:57
uPD16305的性能特點(diǎn)是什么？uPD16305在等離子體顯示器中有什么應(yīng)用？
2021-06-04 06:54:10
1. 低溫等離子體及廢氣處理原理低溫等離子體技術(shù)是一門涉及生物學(xué)、高能物理、放電物理、放電化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)、高壓脈沖技術(shù)和環(huán)境科學(xué)的綜合性學(xué)科，是治理氣態(tài)污染物的關(guān)鍵技術(shù)之一，因其高效、低能耗、處理
2022-04-21 20:29:20
引導(dǎo)，可激發(fā)等離子體。與其他主流光源相比，等離子燈可提供關(guān)鍵優(yōu)勢。與目前常用的常規(guī)熒光燈和高強(qiáng)度放電(HID)燈相比，它們的體積要小得多，可以大面積照明，并且提供更高的照明效率。這些品質(zhì)使等離子燈能夠
2017-12-14 10:24:22
1.引言微波測量方法是將電磁波作為探測束入射到等離子體中，對等離子體特性進(jìn)行探測，不會(huì)對等離子體造成污染。常規(guī)微波反射計(jì)也是通過測量電磁波在等離子體截止頻率時(shí)的反射信號相位來計(jì)算等離子密度。當(dāng)等離子
2019-06-10 07:36:44
光刻光源的方案主要有3種:已建立的同步輻射源;激光等離子體(LPP)EUV光源;放電等離子體(DPP)EU [hide]全文下載[/hide]
2010-04-22 11:41:29
spec-troscopy,LIBS)是近年發(fā)展起來的一種基于激光與材料相互作用的物理學(xué)與光譜學(xué)交叉的物質(zhì)組分定量分析技術(shù)[1-3]。其原理是利用聚焦的強(qiáng)激光束入射樣品表面產(chǎn)生激光等離子體,等離子體輻射光譜含有被測物質(zhì)的組分和組分全文下載
2010-04-22 11:33:27
表面波等離子體激勵(lì)源設(shè)計(jì)，不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
長虹等離子(50638X、50738X)模組紅點(diǎn)問題解決方案文件下載
2021-06-03 06:54:18
等離子體NOX 脫除技術(shù)作為一種脫硝新工藝，受到世界各國的廣泛關(guān)注。在敘述了等離子體脫硝的的兩種反應(yīng)機(jī)理、等離子體NOX 脫除的主要方法（電子束照射法、高壓脈沖電暈法
2009-02-13 00:35:58
12 采用分層介質(zhì)方法處理非均勻等離子體層，研究了電磁波射向覆蓋磁化等離子體層的金屬平板時(shí)電磁波的衰減特性。著重討論Epstein密度分布的等離子體層，分析了等離子體電子密
2009-03-14 15:07:3426 主要分析了各種廢水處理技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)，提出了一種新型等離子體處理廢水的方案，說明了利用低溫等離子體是一種新型的具有廣闊應(yīng)用前景的廢水處理一體化技術(shù)。并對產(chǎn)生等離
2009-04-08 14:56:4035 用RF磁控濺射的方法在Si（100）基底上沉積了納米氮化硼薄膜，然后分別用氫、氧等離子體對薄膜表面進(jìn)行了處理，用紅外光譜、原子力顯微鏡、光電子能譜以及場發(fā)射試驗(yàn)對薄膜
2009-04-26 22:23:3728 本規(guī)范規(guī)定了數(shù)字電視等離子體顯示器（以下簡稱PDP 顯示器）功能和性能的技術(shù)要求，檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等的基本要求。本規(guī)范適用于數(shù)字電視等離子體顯示器
2009-08-21 22:31:237 脈沖等離子體推力器等效電路模型分析:：脈沖等離子體推力器(P胛)的放電電流與推力器性能有密切關(guān)系。為了分析影響脈沖等離子體推力器放電電流的因素，建立了推力器放電過程
2009-10-07 23:03:5910 一種大氣微波環(huán)形波導(dǎo)等離子體設(shè)備:微波等離子體相對其它等離子體而言有很多的優(yōu)點(diǎn)，具有極高的工業(yè)應(yīng)用價(jià)值。但在大氣條件下，大體積的微波等離子體較難獲得
2009-10-29 13:59:3214 等離子體電極棚電光開關(guān)實(shí)驗(yàn)研究:設(shè)計(jì)建造了以輝光放電形成的等離子體作電極，通光口徑為80mm×80mm的普克爾盒實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)檢測了它的開關(guān)性能。闡述了普克爾盒的結(jié)
2009-10-29 14:07:2810 平面磁控陰極用于PEPC等離子體放電實(shí)驗(yàn)研究:平面磁控陰極用于大面積等離子體放電具有大幅降低放電電壓和放電氣壓的優(yōu)點(diǎn)，是PEPC首選的放電途徑。通過對不同尺寸、
2009-10-29 14:07:5219 等離子體電極電光開關(guān)特性參數(shù)測量:建造一套電光開關(guān)參數(shù)測量系統(tǒng)，具備時(shí)間分辨、空間分辨及全口徑平均測量能力。介紹了240mm×240mm等離子體電極普克爾盒電光開
2009-10-29 14:08:2517 大口徑等離子體電極普克爾盒電光開關(guān)研究:設(shè)計(jì)建造了通光口徑為240mm×240mm等離子體電極普克爾盒，在KDP的兩側(cè)用磁控陰極放電產(chǎn)生了覆蓋全口徑的等離子體電極。用
2009-10-29 14:08:5312 等離子體噴射X光時(shí)空分辨測量:在“神光”強(qiáng)激光裝置上對0.53 μm 激光產(chǎn)生的等離子體噴射進(jìn)行了X光時(shí)空分辯診斷。首次利用多針孔陣列成像技術(shù)結(jié)合軟X光掃描相機(jī)觀
2009-10-29 14:09:2416 斜輻照激光等離子體輻射X光子特性:在神光Ⅱ高功率激光裝置上，實(shí)驗(yàn)研究了激光斜輻照形成的激光等離子體輻射X射線光子的特性及真空噴射熱等離子體流的方向。采用
2009-10-29 14:11:3915 本文研究了高頻區(qū)等離子體包覆目標(biāo)的RCS 可視化計(jì)算,將等離子體包覆目標(biāo)的RCS計(jì)算分兩部分完成，首先分析電磁波在等離子體中傳播的折射衰減及碰撞衰減，將衰減后電磁波利
2009-12-30 17:10:4010 推導(dǎo)了磁場作用下等離子體流動(dòng)的控制方程，采用加入人工粘性項(xiàng)的MacCormack二階格式對方程進(jìn)行了離散。計(jì)算了在不同磁場作用下，一維理想磁控等離子體在激波管內(nèi)的流動(dòng)情況
2010-01-11 11:39:5210 因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)射頻等離子體源 RF2100ICP Plasma Source上海伯東代理美國 KRi 考夫
2023-05-11 14:57:22
行業(yè)簡介：微弧氧化(MAO)又稱微等離子體氧化(MPO)、陽極火花沉積(ASD)或火花放電陽極氧化(ANOF),還有人稱之為等離子體增強(qiáng)電化學(xué)表面陶瓷化(PECC)。該技術(shù)的基本原理及特點(diǎn)是：在普通
2023-07-11 14:27:42
人類生活對能源的需求核聚變及受控核聚變原理等離子體約束的基本問題等離子體約束的各種模式等離子體輸運(yùn)與能量約束定標(biāo)約束改善與邊緣局域模控制總結(jié)和
2010-05-30 08:26:5614 本文依據(jù)等離子體中電磁波的吸收衰減等方面的研究，對比垂直極化和水平極化的電場分量在等離子體中的衰減特性建立了模型，并通過仿真得到不同極化情況下的衰減曲線。
2010-08-04 15:12:090 摘要：以玻碳電極為基礎(chǔ)電極，用微波等離子體技術(shù)聚合沉積聚乙二胺等離子體膜，使之形成帶氨基功能團(tuán)的表面。再通過戊二醛交聯(lián)共價(jià)固定辣根過氧化物酶，制得H：02生物傳
2010-12-30 21:35:4121 uPD16305在等離子體顯示器中的應(yīng)用
摘要：介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動(dòng)芯片μPD16305的性能特點(diǎn)及其它PDP顯示系統(tǒng)中的應(yīng)用。它
2008-10-30 23:52:541224 
μPD16305在等離子體顯示器中的應(yīng)用
介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動(dòng)芯片μPD16305的性能特點(diǎn)及其在PDP顯示系統(tǒng)中的應(yīng)用。它為PDP掃描電極的驅(qū)動(dòng)電路
2009-05-14 18:39:29940 
利用微波在介質(zhì)表面激發(fā)出截止密度以上的等離子體，然后微波在介質(zhì)與等離子體間形成表面波的傳輸，具有一定電場強(qiáng)度的表面波在其傳輸?shù)姆秶鷥?nèi)可生成和維持高密度的等離子
2010-07-29 11:00:011037 
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存
2010-07-29 11:02:383997 離子注八材料表面陡性技術(shù)， 是材料科學(xué)發(fā)展的一個(gè)重要方面。文中概述7等離子體源離子注八技術(shù)的特點(diǎn) 基皋原理 應(yīng)用效果。取覆等離子體源離子注八技術(shù)的發(fā)展趨勢。例如， 除7在
2011-05-22 12:35:2948 根據(jù)靜電場理論給出了描述鞘層電位的Poisson方程、等離子體理論和Boltzmann方程，給出了粒子數(shù)密度守恒方程。通過牛頓運(yùn)動(dòng)定律建立了等離子體的動(dòng)量方程。基于Poisson方程、粒子數(shù)密
2012-02-09 16:43:2117 等離子體鎢極氬弧焊接槍為研究對象，通過求等離子體弧柱區(qū)域的能量方程、動(dòng)量守恒、質(zhì)量守恒及電流連續(xù)性方程。得到溫度、速度、電流密度分布。
2012-03-28 15:20:2131 等離子體模塊是用于模擬低溫等離子源或系統(tǒng)的專業(yè)工具。借助模塊中預(yù)置的物理場接口，工程師或科學(xué)家可以探究物理放電機(jī)理或用于評估現(xiàn)有或未來設(shè)計(jì)的性能，例如直流放電、感應(yīng)耦合等離子體、容性耦合等離子體、微波等離子體、表面氣相沉積等。
2015-12-31 10:30:1557 電感耦合等離子體質(zhì)樸分析的應(yīng)用
2017-02-07 16:15:389 本文概述了2016年首屆全國高電壓與放電等離子體學(xué)術(shù)會(huì)議。根據(jù)會(huì)議的學(xué)術(shù)報(bào)告，結(jié)合近年來大氣壓低溫等離子體領(lǐng)域中經(jīng)典的綜述論文，從理論研究和實(shí)際應(yīng)用兩方面總結(jié)和分析了大氣壓低溫等離子體的研究現(xiàn)狀及
2018-01-02 16:12:245 放電等離子體有著非常廣泛的實(shí)際工程應(yīng)用價(jià)值，其內(nèi)部溫度特性是表征等離子體性質(zhì)的一個(gè)重要參數(shù)。為了探明大氣壓下放電等離子體的氣體溫度空間分布特性參數(shù)，搭建了一套基于莫爾偏折原理的光學(xué)測試系統(tǒng)，對銅電極
2018-01-02 16:37:196 隨著高壓直流輸電迅猛發(fā)展，絕緣材料在直流電壓下表面電荷積聚現(xiàn)象嚴(yán)重威脅直流輸電系統(tǒng)的安全可靠運(yùn)行。為加快絕緣材料表面電荷的消散，采用大氣壓等離子體射流，以TEOS為前驅(qū)物，在環(huán)氧樹脂表面沉積Si0
2018-01-16 11:07:443 Ethereum的聯(lián)合創(chuàng)始人Vitalik Buterin提出了一種名為等離子體現(xiàn)金的區(qū)塊鏈擴(kuò)展解決方案，這是一種甚至“更可伸縮”的現(xiàn)有解決方案。等離子體現(xiàn)金由Buterin和開發(fā)者Dan
2018-03-13 07:31:00739 低溫等離子體廢氣處理技術(shù)正越來越引起人們的重視，它是未來環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。由于強(qiáng)溫室氣體SF6本身的理化特性，等離子體處理SF6面臨著更多的挑戰(zhàn)，目前該方面的研究綜述鮮見。本文嘗試根據(jù)國內(nèi)外
2018-03-16 10:20:234 微波測量方法是將電磁波作為探測束入射到等離子體中，對等離子體特性進(jìn)行探測，不會(huì)對等離子體造成污染。常規(guī)微波反射計(jì)也是通過測量電磁波在等離子體截止頻率時(shí)的反射信號相位來計(jì)算等離子密度。當(dāng)等離子密度較高
2018-11-29 08:53:003362 
以太坊等離子體（Plasma）是由以太坊聯(lián)合創(chuàng)始人Vitalik Buterin和Joseph Poon共同提出的。該概念于2017年8月作為以太坊的擴(kuò)容解決方案誕生。與Thaddeus Dryja
2018-12-20 11:23:52969 然而，自從我開始自己閱讀關(guān)于等離子體的在線資源以來，我身邊來自cryptoeconomics Lab的專業(yè)等離子體研究人員為我提供了一種非常接近的方式，讓完全的初學(xué)者可以從頭開始學(xué)習(xí)等離子體。他們給我提供了一大堆文章的參考資料，我們可以按照正確的順序閱讀。
2019-01-16 11:19:46673 等離子體可以通過多種方式來產(chǎn)生，常見的方法主要包括：熱電離法/射線輻照法/光電離法/激波等離子法/激光等離子法/氣體放電法等。氣體放電是指氣體在電場的作用下被擊穿引起的導(dǎo)電現(xiàn)象，而低溫等離子體的產(chǎn)生方式主要是通過氣體放電來實(shí)現(xiàn)的。下面主要介紹通過氣體放電來產(chǎn)生低溫等離子體的各種方式
2019-04-22 08:00:0035 針對傳統(tǒng)直流等離子體發(fā)生器電源效率不高、驅(qū)動(dòng)管熱損耗大等問題，設(shè)計(jì)了一個(gè)高效率低損耗的高頻高壓等離子體發(fā)生器。該系統(tǒng)通過移相全橋控制電路進(jìn)行PWM方波控制，在功率晶體管驅(qū)動(dòng)下，經(jīng)高頻諧振升壓電路
2019-09-09 17:45:515521 
等離子體，是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光，也有稱其為抄板物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是由于原子中激化的電子和分子無序運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，所以具有相當(dāng)高的能量。
2019-09-10 14:55:352608 在之前的文章中，對射頻大氣壓輝光放電已經(jīng)有所介紹，那么，如果在射頻放電中，將放電的間隙進(jìn)一步縮小到微等離子體尺度內(nèi)，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會(huì)出現(xiàn)哪一些新的特點(diǎn)呢？接下來我們與大家共同探討。
2020-11-16 10:38:000 等離子體激元是指傳統(tǒng)金屬和半導(dǎo)體的電子量子化集體振蕩，一直以來吸引著人們對其在傳感、快電子學(xué)和太陽能電池技術(shù)中應(yīng)用的興趣。等離子體激元也可存在于被稱為狄拉克（Dirac）材料的奇異固體中。
2020-12-26 00:38:00480 ，就由博世智能制造解決方案事業(yè)部（以下簡稱ATMO-3CN）的專家來帶我們探索等離子涂層技術(shù)的奧秘。 12 本期專家： Yu Sisley 博世智能制造解決方案事業(yè)部涂層生產(chǎn)及工程項(xiàng)目工藝工程師。畢業(yè)于英國曼徹斯特大學(xué)，先進(jìn)材料工程碩士及
2021-06-18 09:51:174310 等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)(現(xiàn)代電源技術(shù)基礎(chǔ)下載)-等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)
2021-09-29 17:45:395 摘要 丁二烯、氫和氬的三元混合物在平行板等離子體反應(yīng)器中沉積了類金剛石碳膜。這些薄膜的蝕刻量為02，cf4/02等離子體放電。推導(dǎo)出了沉積氣體混合物的組成與根據(jù)蝕刻和沉積速率定義的無量綱數(shù)(EN
2022-01-07 16:19:111028 
本文對單晶石英局部等離子體化學(xué)刻蝕工藝的主要工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。在射頻(射頻，13.56兆赫)放電激勵(lì)下，在CF4和H2的氣體混合物中進(jìn)行蝕刻。采用田口矩陣法的科學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)來檢驗(yàn)腔室壓力、射頻發(fā)生器
2022-02-17 15:25:421804 
了實(shí)驗(yàn)室反應(yīng)器配置。給出了根據(jù)所需薄膜特性設(shè)計(jì)和使用等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器的參考點(diǎn)。最后，討論了避免粉末形成和提高薄膜生長速率的解決方案。 介紹 在過去的二十年里，非平衡（“冷”）大氣壓力等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(AP-P
2022-02-21 16:50:111900 
本文提供了用于蝕刻膜的方法和設(shè)備。一個(gè)方面涉及一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法，該方法包括:(a)將氟化氣體引入等離子體發(fā)生器并點(diǎn)燃等離子體以a形成含氟蝕刻溶液；(b)從硅源向等離子體提供硅；以及
2022-04-24 14:58:51979 
反應(yīng)性離子蝕刻綜合了離子蝕刻和等離子蝕刻的效果：其具有一定的各向異性，而且未與自由基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的材料會(huì)被蝕刻。首先，蝕刻速率顯著增加。通過離子轟擊，基材分子會(huì)進(jìn)入激發(fā)態(tài)，從而更加易于發(fā)生反應(yīng)。
2022-09-19 15:17:553386 在半導(dǎo)體行業(yè)，晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分，在這一過程中，材料可以被分層到一個(gè)非常具體的厚度。當(dāng)這些層在晶圓表面被蝕刻時(shí)，等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻，并確定等離子體
2022-09-21 14:18:37694 
現(xiàn)有的原子層沉積技術(shù)氮摻雜過程需要在氮?dú)?b class="flag-6" style="color: red">等離子體的高溫條件下進(jìn)行，但是高溫環(huán)境下的薄膜生長會(huì)引起電池正極和負(fù)極材料的相變和分解。雖然有研究指出低溫條件下在氨氣環(huán)境中可以實(shí)現(xiàn)氮摻雜的原子層沉積，但是同時(shí)會(huì)顯著增加氨氣尾氣處理的設(shè)備成本和維護(hù)難度以及安全風(fēng)險(xiǎn)。
2023-01-16 14:09:13644 近年來，等離子體技術(shù)的使用范圍正在不斷擴(kuò)大。在半導(dǎo)體制造、殺菌消毒、醫(yī)療前線等諸多領(lǐng)域，利用等離子體特性的應(yīng)用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發(fā)的等離子體發(fā)生器，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，它可以在緊湊的封裝中產(chǎn)生低溫等離子體*1，并具有更低的功耗。它有望促進(jìn)各種設(shè)備的開發(fā)，使離子體技術(shù)更容易使用。
2023-02-27 17:54:38746 
氧等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過化學(xué)反應(yīng)沿石墨烯的晶面進(jìn)行刻蝕。不同的是，氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發(fā)性氣體，而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳?xì)滏I。
2022-06-21 14:32:25391 
等離子體清洗技術(shù)自問世以來，隨著電子等行業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用范圍逐漸擴(kuò)大，用于活化蝕刻和等離子體清洗，以提高膠粘劑的粘接性能。
2022-07-04 16:09:18433 
金徠常壓等離子體技術(shù)與其他表面處理方法相比有哪些主要優(yōu)點(diǎn)?
與其他表面活化方法相比，最主要優(yōu)點(diǎn)是具有高效率。 等離子體系統(tǒng)能夠非常容易地集成到現(xiàn)有生產(chǎn)線里，它環(huán)保，節(jié)約空間，還具有低運(yùn)行成本的優(yōu)勢。
2022-10-26 09:48:12335 
隨著集成電路互連線的寬度和間距接近3pm，鋁和鋁合金的等離子體蝕刻變得更有必要。為了防止蝕刻掩模下的橫向蝕刻，我們需要一個(gè)側(cè)壁鈍化機(jī)制。盡管AlCl和AlBr都具有可觀的蒸氣壓，但大多數(shù)鋁蝕刻的研究
2023-06-27 13:24:11318 
等離子體工藝是干法清洗應(yīng)用中的重要部分，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，等離子體清洗的優(yōu)勢越來越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點(diǎn)和應(yīng)用，討論了它的清洗原理和優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù)及解決方法。
2023-10-18 17:42:36447 
? 一種使用等離子體激元的新型成像技術(shù)能夠以增強(qiáng)的靈敏度觀察納米顆粒。休斯頓大學(xué)納米生物光子學(xué)實(shí)驗(yàn)室的石偉川教授和他的同事正在研究納米材料和設(shè)備在生物醫(yī)學(xué)、能源和環(huán)境方面的應(yīng)用。該小組利用等離子體
2023-11-27 06:35:23121 高壓放大器在等離子體實(shí)驗(yàn)中有多種重要應(yīng)用。等離子體是一種帶電粒子與電中性粒子混合的物質(zhì)，其具有多種獨(dú)特的物理性質(zhì)，因此在許多領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，例如聚變能源、等離子體醫(yī)學(xué)、材料加工等。下面安泰電子將介紹高壓放大器在等離子體實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用。
2023-11-27 17:40:00189 
基于GaN的高電子遷移率，晶體管，憑借其高擊穿電壓、大帶隙和高電子載流子速度，應(yīng)用于高頻放大器和高壓功率開關(guān)中。就器件制造而言，GaN的相關(guān)材料，如AlGaN，憑借其物理和化學(xué)穩(wěn)定性，為等離子體蝕刻
2023-12-13 09:51:24294 
01、重點(diǎn)和難點(diǎn) 等離子體通常被認(rèn)為是物質(zhì)的第四態(tài)，除了固體、液體和氣體之外的狀態(tài)。等離子體是一種高能量狀態(tài)的物質(zhì)，其中原子或分子中的電子被從它們的原子核中解離，并且在整個(gè)系統(tǒng)中自由移動(dòng)。這種狀態(tài)
2023-12-26 08:26:29209 
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