一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SJ6000平面光學(xué)激光干涉儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來，這兩束光從而能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡，因此，要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設(shè)定測(cè)量的開始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊“開始”按鈕，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)顯示測(cè)量所得動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對(duì)測(cè)量所得數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析，得到如長(zhǎng)度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，檢測(cè)結(jié)束后自動(dòng)生成檢定結(jié)果。
二、特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
1、應(yīng)用范圍廣：可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)；在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
2、測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，測(cè)量結(jié)果可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
3、采用先進(jìn)的PSD技術(shù)（光電位置敏感檢測(cè)器，可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào)），光路調(diào)節(jié)迅速、方便。一次安裝能測(cè)量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角。
4、內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。具有動(dòng)態(tài)測(cè)量分析功能，能夠?qū)崟r(shí)采集、顯示數(shù)據(jù)，可進(jìn)行快速測(cè)量分析。
5、安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜；云臺(tái)自帶三維水平校正儀，安裝調(diào)光方便；斷光無影響，方便導(dǎo)軌的安裝調(diào)試；
6、界面友好，符合中國用戶操作習(xí)慣；
7、測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；
8、可從數(shù)據(jù)庫中選定多條記錄成批打印檢定記錄或者檢定證書；
9、可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔；
10、具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫功能；
11、輸出多種Word格式報(bào)表，并支持自定義報(bào)表，定制檢定記錄報(bào)表和檢定證書的格式，適合國內(nèi)計(jì)量機(jī)構(gòu)對(duì)報(bào)表方面的要求。
三、技術(shù)參數(shù)
| 1 | 線性測(cè)長(zhǎng)距離 | 40m |
| 2 | 線性測(cè)長(zhǎng)精度 | ±（0.02+0.5L）um |
| 3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 4 | 分辨率 | 0.001um |
| 5 | 至大測(cè)量速度 | 4.0m/S |
| 6 | 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
| 7 | 預(yù)熱時(shí)間 | 5~10分鐘 |
| 8 | 環(huán)境補(bǔ)償精度 | 空氣壓力：±1.0mBar， 空氣濕度：±6%， 材料溫度：±0.1℃ |
| 9 | 基本重量(含三腳架，包裝) | 15Kg |
