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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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廣東3d光學輪廓儀檢測儀器

型號： SuperView W1

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

廣東3d光學輪廓儀檢測儀器SuperViewW1采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。


 

可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


 

 

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EPSI重建算法.jpg

EPSI重建算法
 

 

高速掃描的FVSI重建算法1.jpg

高速掃描的FVSI重建算法


 

廣東3d光學輪廓儀檢測儀器SuperViewW1是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。其載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的最高精度可達0.1nm。


 

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件；


 

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um；

 

 

應用

在3C領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在LED行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；

在軍事領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度；

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