白光干涉儀測量圖

光學儀器精密測厚白光干涉儀

型號： SuperViewW1

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--- 產品詳情 ---

中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。它的載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達0.1nm。

【測量小尺寸樣品時】可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件；

【測量大尺寸樣品時】支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um；

SuperViewW1白光干涉儀測量圖

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