中圖儀器SJ6000高速精密激光干涉儀測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。它具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000高速精密激光干涉儀是一個(gè)交流測(cè)試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì)受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會(huì)因電平變化造成干涉信號(hào)的頻率改變。因此，它的干擾能力強(qiáng)，精度高，測(cè)量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測(cè)和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

性能特點(diǎn)
 

1.易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補(bǔ)償器，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類(lèi)似于行李箱的工具箱中，整體加起來(lái)的重量在15kg左右，再加上一個(gè)可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架（裝在無(wú)紡編織袋中），隨時(shí)隨地可用于機(jī)械測(cè)量！激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計(jì)算機(jī)USB接口相連，實(shí)時(shí)傳遞檢測(cè)數(shù)據(jù)，供計(jì)算機(jī)檢定軟件測(cè)算，檢定過(guò)程輕松易掌握，沒(méi)有復(fù)雜的程序設(shè)定。

2.高精確度保證動(dòng)態(tài)性能

氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補(bǔ)償器，使線性測(cè)量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz，測(cè)量速度4m/sec，高速測(cè)量下的分辨率為1nm，干涉法測(cè)量讓您對(duì)檢測(cè)結(jié)果有信心。

3.高品質(zhì)技術(shù)

精心的設(shè)計(jì)和嚴(yán)格把關(guān)的制造，持續(xù)提供技術(shù)支持，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，售前、售中、售后和全國(guó)網(wǎng)絡(luò)支持。

4.適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設(shè)靈活，對(duì)各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機(jī)床、平臺(tái)和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性，測(cè)量快速簡(jiǎn)便，減少重復(fù)定位測(cè)量的時(shí)間，同時(shí)得到準(zhǔn)確直觀的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
 

三坐標(biāo)測(cè)量
 

SJ6000高速精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿(mǎn)足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。