激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。
 

中圖SJ6000機床用的激光干涉檢測儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

性能特點

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④SJ6000機床用的激光干涉檢測儀配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。

SJ6000機床用的激光干涉檢測儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

技術規格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

內置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。