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      電子發燒友網>電子資料下載>規則標準>SECS/GEM標準模型分析及應用

      SECS/GEM標準模型分析及應用

      2011-08-01 | pdf | 550 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ?SECS/GEM是半導體自動化生產中廣泛采用的一個行業標準。首先介紹了SECS/GEM標準的整體框架，并分析了其行業發展狀況，然后依次說明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各個分層標準的數據報文格式、傳輸控制模型、狀態轉換模型以及相互間的通信控制方式等，最后分析了該標準在我國半導體自動化生產中的應用狀況。實踐表明，SECS/GEM標準設計嚴謹，適應面廣，在我國半導體工業中應用前景廣闊。

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