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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>一種靜電驅動可調電容器的設計

      一種靜電驅動可調電容器的設計

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      本文主要是介紹一種新的可調電容器的設計。這種可調電容器采用靜電驅動金屬膜
      的原理工作，與一般的只有單極板可動的可調電容器相比，這種結構的不同之處在于采用一些復雜的制作工藝，制作出電容兩塊極板均可動的可調電容器。這種結構包括兩層可動金屬板，下層金屬板上覆蓋一層薄的絕緣層，防止兩層金屬膜發生接觸粘連。上下兩層可動板之間留有一定厚度的空氣隙，金屬板在這個區域內可以活動。
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