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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>簡述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究

      簡述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究

      2014-09-01 | pdf | 278KB | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      為解決特種壓力傳感器結構的封裝難題，提出了三種能夠適用于200℃高溫條件下的先進封裝技術。通過有限元模擬，確定了采用低溫玻璃鍵合技術對多種壓力傳感器進行封裝，分析得出了適合的中間鍵合層厚度。選定了高強度低膨脹基底合金材料，制定了低溫玻璃鍵合的工藝流程，采用先進的絲網印刷工藝確保中間鍵合層厚度。實驗表明經過該工藝封裝的壓力傳感器在高溫下具有可靠的性能，能滿足現代工業測量需求。
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