MEMS傳感器的小型化

　　微加工技術已成為傳感器小型化的關鍵技術。通過使用標準的半導體制造技術，能夠減少傳感元件的尺寸，使尺寸的急劇減少。集成信號處理旁邊的傳感元件進一步提高了機會，以減少系統的大小，省去了額外的引腳連接到外部設備。微細加工工藝技術的選擇也可以確定的小型化的限制，但這往往是由傳感器類型。壓電微機械元件的壓力感測的機會較少，比從一個基板上的表面上的CMOS硅的隔膜，例如，但可以提供更高的性能。

　　圖1：表面微機械傳感元件。

　　傳感器也遭受縮放問題，降低靈敏度和性能，雖然這可以減輕通過創新設計的元件結構。這種創新的設計也可以被用來集成到一個單一的傳感器的多個元素。這是最明顯的六軸加速度計的元素精心設計可以提供移動數據沿多軸。這也有助于小型化系統，用一個裝置更換幾個傳感器。

　　However， this move to integration and miniaturization comes at a cost， usually in the noise and dynamic range. For example， adding filtering and signal processing to determine the different forces acting on a complex sensing element and filtering out the noise from the different elements can lead to a slower response time and limit the overall dynamic range. While this may be acceptable for a small， space-constrained application such as wearable electronics， it may not be suitable for a small， unmanned aerial vehicle （UAV） that has similar space constraints but higher accuracy demands.