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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>硅光子激光器與降低硅光子產品測試成本的研究

      硅光子激光器與降低硅光子產品測試成本的研究

      2017-10-17 | rar | 0.1 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　本文將介紹和比較在硅光電子領域中使用的多種激光器技術，包括解理面、混合硅激光器和蝕刻面技術。我們還會深入探討用于各種技術的測試方法，研究測試如何在推動成本下降和促進硅光子技術廣泛普及的過程中發揮重要作用。

      　　解理面激光器（Cleaved Facet Lasers）

      　　圖1顯示了如何將基于磷化銦（InP）的半導體晶圓切割成晶條形成用于邊發射激光器的反光鏡。這些晶條一個接一個垂直堆疊在一起，然后在解理面上施加鏡子涂覆層。在解理過程中將形成大量晶條，每根晶條上的每個激光器都需要通過測試來確定其功能。然而，晶條測試要求用手或機器操作這些易碎的半導體晶條，而且一般一次測一條。因此這個過程相當緩慢和昂貴，而且僅限于室溫測試，以免測試人員測一根晶條花費太長的時間。在測試過程中操作易碎的晶條必須非常小心和輕柔，否則晶條上的激光器很容易損壞。

      　　硅光子激光器與降低硅光子產品測試成本的研究

      　　圖1：解理面和蝕刻面激光器的制造步驟表明它們使用不同的工藝

      　　在通過晶條測試后，晶條被繼續切割為單個獨立的激光器芯片，然后通過有源方式與硅光子芯片進行校準。這個過程也很昂貴，因為在校準過程中激光器芯片必須加電和移動，直到有足夠的光耦合進硅光子波導。這時，激光器芯片的位置需要永久地鎖定在硅光子芯片上。由于對晶條上的激光器只做了室溫測試，我們仍然不知道在工作范圍內的極限溫度時激光器是否具有可接受的性能。正因為這個未知條件，附著了（Cleaved Facet Lasers）的硅光子芯片還必須完成整個溫度范圍內的測試，這又要求額外的資源，并增加更多的成本。

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