資料介紹
激光位移傳感器以其高精度、高效率、高可靠性等優點,應用于精密零件的形位和位置公差的檢測中。CCD(電荷耦合器件)是激光位移傳感器的主要部件之一,其性能直接影響到系統的測量結果。只有符合激光位移傳感器工作要求的CCD驅動方法才能保證測量結果準確。
在驅動CCD時要解決的兩個主要問題分別是驅動時序的產生和輸出信號的采集處理。在驅動時序產生方面,以往的研究大多只以成功驅動CCD為目的,因此掃描頻率不高,一般采用器件的典型頻率1 MHz或者更低。偶有專門研究討論高速驅動CCD的方法,但多是在面陣CCD上進行驗證。以往的驅動方法一般只針對一種掃描頻率,而激光位移傳感器要求在不同工作模式下CCD掃描頻率要改變。在輸出信號的采集處理方面,除了信號反相放大和濾波這些常見的處理外,以往一般研究的是如何消除CCD的復位噪聲和暗電流噪聲。但在激光位移傳感器的應用中,實驗結果表明復位噪聲和暗電流噪聲對測量的影響并不明顯。以往的研究中CCD受到的光照一般較強,但激光位移傳感器中CCD接收的是漫反射的弱光,當掃描頻率較高時輸出信號急劇衰減,如何處理好不同掃描頻率下的CCD信號是巋須解決的問題之一。綜上所述,有必要設計一種針對在激光位移傳感器中應用的線陣CCD驅動方法。
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