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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>PCMR體聲波諧振器多物理場仿真及芯片制作

      PCMR體聲波諧振器多物理場仿真及芯片制作

      2018-02-04 | rar | 0.64 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　近年來，隨著微電子機械系統（MEMS）技術的迅速發展，MEMS三維加工手段結合壓電、鐵電材料的研究，最終產生了BAW （Bulk Acoustic Wave，體聲波）諧振器件，2001年，Agilent成為第一個在業界成功推出FBAR雙工器的企業。FBAR由于其工作原理限制，無法實現單芯片多頻段的功能，隨著BAW概念和MEMS技術的進一步發展，另一種諧振器模式也引起了人們的關注，那就是壓電輪廓模式諧振器PCMR （Piezoelectric　Contour-Mode Resonator）。這種諧振器同樣是利用體聲波進行工作，其制作工藝也仍然采用MEMS工藝，但與FBAR利用厚度控制諧振頻率不同，PCMR利用輪廓結構來控制諧振頻率。此諧振器的出現，為無線通信系統前端模塊的一體化，甚至單片多頻段的實現提供了新的思路和途徑。

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