資料介紹
微諧振式壓力傳感器尺寸小、重量輕、精度高并具有數(shù)字輸出, 在航空航天等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。然而由于微機械加工工藝的限制, 復(fù)雜結(jié)構(gòu)的制作存在很多困難, 因而為實現(xiàn)高靈敏度壓力測量, 微諧振式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計就顯得尤為重要, 因此提出一種新型硅島式諧振梁支撐結(jié)構(gòu), 它利用硅薄膜作為典型的一次敏感元件, 并在其上表面中央部位設(shè)計了兩個硅島凸起平臺, 用以固定硅諧振梁, 并通過有限元軟件ANSYS 進行仿真。分析結(jié)果表明, 在一定量程內(nèi), 該結(jié)構(gòu)能有效提高諧振梁內(nèi)的應(yīng)力放大倍數(shù), 進而提高微壓力傳感器的靈敏度。
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