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      電子發燒友網>電子資料下載>顯示及光電>PECVD沉積SiO2和SiN對P-GaN有什么影響

      PECVD沉積SiO2和SiN對P-GaN有什么影響

      2018-12-17 | pdf | 0.31 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      在等離子增強化學氣相沉積法PECVD沉積 SiO2和 SiN掩蔽層過程中!分解等離子體中濃度較高的H原子使MG受主鈍化!同時在P-GaN材料表面發生反應形成淺施主特性的N空位。

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