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述了壓電陶瓷微位移執(zhí)行器的驅(qū)動原理，介紹了執(zhí)行器的性能與應(yīng)用情況；利用自行設(shè)計的輸出特性測試系統(tǒng)，對WTYD0808042壓電陶瓷微位移執(zhí)行器進行了相關(guān)實驗研究，分析了執(zhí)行器的非線性和遲滯特性；采用Duhem算子建立了壓電執(zhí)行器的遲滯模型，利用建立的Duhem模型作為PID反饋控制的前饋環(huán)節(jié)進行閉環(huán)精密定位控制的研究。實驗結(jié)果表明：該模型能夠有效降低非線性和遲滯特性對壓電執(zhí)行器位移輸出精度的影響，提高執(zhí)行器的動態(tài)響應(yīng)特性。
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