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針對(duì)麥克風(fēng)產(chǎn)品開發(fā)成本過高問題，對(duì)麥克風(fēng)的制造工藝進(jìn)行了研究，提出了一種用仿真代替實(shí)驗(yàn)的方法，利用IntelliSuite軟件中的Blueprint設(shè)計(jì)麥克風(fēng)制作過程巾所使用的掩膜版圖，再利用IntelliSuite軟件中IntelliFah模塊對(duì)器件進(jìn)行了微電容式麥克風(fēng)的工藝流程仿真，仿真出麥克風(fēng)器件，再利用IntelliSuite軟件中的3D BUILDER，TEM兩個(gè)子模塊，仿真得到了微機(jī)械電容式麥克風(fēng)的靈敏度、吸合電壓以及固有頻率等參數(shù)，該仿真過程得到的相關(guān)參數(shù)能夠?yàn)槲C(jī)械電容式麥克風(fēng)性能的佐證提供參考，并指導(dǎo)學(xué)者對(duì)微電容式麥克風(fēng)產(chǎn)品的開發(fā)與設(shè)計(jì)過程。分析結(jié)果表明，此過程能夠代替實(shí)際的開發(fā)的制造過程，達(dá)到節(jié)約產(chǎn)品開發(fā)成本的目的。
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