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      電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>基于VC＋＋6.0的電子束曝光控制系統

      基于VC＋＋6.0的電子束曝光控制系統

      2010-07-14 | rar | 201 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      隨著納米科技的迅速發展，下一代光刻技術在微細加工領域發揮著日益重要的作用。作為復雜半導體加工主要手段之一的電子束曝光系統，需要穩定完善的控制軟件來保證其正常運行。本文介紹了電子束曝光控制系統的設計原理，并著重介紹了其對電子束曝光的全過程進行控制的強大功能。
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