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一、熱循環(huán)的通暢
熱循環(huán)就是氣流的循環(huán)，從氬氣輸進(jìn)到被真空泵抽走的一個循環(huán)過程。它的外在顯示值即爐壓（真空泵的抽速與氬乍輸入量的平衡值） 組成部分，1氬氣調(diào)節(jié)整個單晶硅棒拉制中熱循環(huán)的流量和流速，是在拉晶過程中不可缺少的保護(hù)氣體。（屬性惰性i體特點(diǎn)不易燃燒） 2 真空泵穩(wěn)壓持續(xù)抽走爐內(nèi)的體揮發(fā)物，保持爐內(nèi)真空平衡。由這兩個系統(tǒng)所組成熱循環(huán)系統(tǒng)的作用： 有效的帶走爐內(nèi)沉積的揮發(fā)物，防止石墨器件及熱場的氧化增加使用壽命。增強(qiáng)成晶硅溶面與內(nèi)溶液溫度差提高成晶速度。降低單晶硅棒在生產(chǎn)過程中的氧碳含量等，從而提高公司的產(chǎn)品質(zhì)量。
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