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摘要：在Synopsys TCAD軟件環境下，結合中國科學院微電子研究所0．8Um標準CMOS工藝條件對于高壓CMOS器件進行了工藝和器件模擬。由于考慮到與標準CMOS工藝的兼容性，高壓CMOS器件均采用LDMOS結構；根據RESURF技術，對于器件的漂移區進行了優化。器件模擬結果表明，高壓NMOS器件源漏擊穿電壓為220V；閾值電壓和驅動能力分別為0．8V和1×10的4次方A／Um。高壓PMOS器件源漏擊穿電壓為一135V；閾值電壓和驅動能力分別為-9．7V和1．8×10的4次方A／Um。高壓CMOS器件的研制可為進一步研制FED和PDP平板顯示高壓驅動電路奠定基礎。
關鍵詞：顯示驅動；高壓CMOS器件；0．8Um CMOS工藝；模擬
關鍵詞：顯示驅動；高壓CMOS器件；0．8Um CMOS工藝；模擬
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