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微光學與微電子光學裝備研制是中國科學院光電技術研究所的重點學科之一，不僅擁有
一支總體設計水平高，光、機、電配套，積累了豐富經驗的科研隊伍，還擁有一支實力雄厚的試制加工、工藝和測試力量，為研發、生產和拓展微電子裝備技術領域奠定了堅實的基礎。該所在充分發揮多年從事微細加工光學專用設備產品的攻關與研制的技術優勢的同時，堅持走自主創新之路，加強核心技術、共性技術和關鍵部件的自主創新，重視科技成果的應用和轉化，著力把自主創新作為培育新的經濟增長點和提升核心竟爭力的根本點。近期成功研發的
URE-2000 系列紫外深度光刻機，產品以其特、新、優贏得了社會的贊賞，成為市場倍受歡迎的微細加工光刻設備，項目榮獲第二屆（2007 年度）中國半導體創新產品和技術獎。
一支總體設計水平高，光、機、電配套，積累了豐富經驗的科研隊伍，還擁有一支實力雄厚的試制加工、工藝和測試力量，為研發、生產和拓展微電子裝備技術領域奠定了堅實的基礎。該所在充分發揮多年從事微細加工光學專用設備產品的攻關與研制的技術優勢的同時，堅持走自主創新之路，加強核心技術、共性技術和關鍵部件的自主創新，重視科技成果的應用和轉化，著力把自主創新作為培育新的經濟增長點和提升核心竟爭力的根本點。近期成功研發的
URE-2000 系列紫外深度光刻機，產品以其特、新、優贏得了社會的贊賞，成為市場倍受歡迎的微細加工光刻設備，項目榮獲第二屆（2007 年度）中國半導體創新產品和技術獎。
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