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      電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

      放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

      2010-03-05 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      描述了Ｚ箍縮放電等離子體極紫外光源系統中的主脈沖電源，給出了主電路拓撲結構，重點介紹了三級磁脈沖壓縮網絡，給出了關鍵參數的設計計算，并且介紹了新穎的末級磁脈沖壓縮放電結構。實驗結果顯示：各級磁脈沖壓縮效果達到設計指標，電源輸出電壓峰達３０ｋＶ，輸出電流峰值大于４０ｋＡ，電流脈沖寬度２００ｎｓ，滿足Ｚ箍縮放電等離子極紫外光源對主脈沖的要求。
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