資料介紹
在深次微米半導體製程中,由于元件尺寸微縮,元件的靜電放電(ElectrostaticDischarge,ESD) 耐受度相對變差,因此靜電放電防護設計在IC 設計時即必需被加入考量 [1]。通常商用IC 的靜電放電耐受度必需通過人體放電模式(HumanBody Model, HBM) 2 kV 與機器放電模式(Machine Model, MM) 200 V 的測試[2]。為了能夠承受如此高電壓的靜電放電測試,IC 上的靜電放電防護元件常具有大元件尺寸的設計。為了盡可能節(jié)省晶粒面積,在佈局(layout)上,這種大尺寸的元件通常以指狀(multi-finger)的方式來實現(xiàn)
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