資料介紹
根據等厚干涉光強分布規律,從頻域的角度介紹了干涉式量塊比較儀的定標方法。用CCD采集單色光等厚干涉圖像,計算機對圖像作傅立葉變換并提取主頻信息,通過簡單運算完成比較儀的自動化定標。根據定標結果,成功開發出量塊比較儀機器視覺自動化讀數系統,該系統測量重復性s=0.006μm,示值誤差δ=0.024μm。
目前3等以下量塊主要運用與2等標準量塊相比較的方法進行檢定[1],所使用傳統光學接觸式干涉儀(如烏氏干涉儀)均是六、七十年代產品,靠人眼讀取等厚干涉條紋位置刻度值,勞動強度大,易引入人為誤差。為提高自動化水平,先后出現了電感式與光柵式等新型智能化比較儀,這些運用全新位移傳感原理的量塊比較儀相對于傳統烏氏干涉儀而言造價偏高,在測量效率與準確度方面卻沒有明顯提高,反而有所下降。可以說目前還沒有一種量塊比較儀在使用壽命和長期穩定性方面能與傳統的等厚干涉式比較儀相媲美。
近年來機器視覺技術在干涉類長度計量領域得到廣泛應用[2]。運用機器視覺技術對傳統烏氏干涉儀進行改造,既能保留原等厚干涉式比較儀的技術優勢,又能實現測量的自動化,且成本低廉。測量前需用單色光形成周期性等厚干涉條紋進行定標,傳統的數條紋方法費時費力且不利于計算機進行自動化操作。采用傅立葉變換方法提取周期性等厚干涉條紋的主頻信息,計算機能迅速完成定標操作,且具有極強的抑噪能力。
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