資料介紹
TFT基本架構及原理
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意圖
GE 信號OFF時Source和Drain是一斷路狀態電流無法流通使pixel充電GEG-SiNxa-SiSourceDrain電流GE 信號ON時Source和Drain是一通路狀態電流由Drain經a-Si流向Source使pixel充電Each blade Hyper-shot前后都有石英玻璃,前板的玻璃,內側鍍有Cr,為防止particle掉在pattern上,另一側都有保護玻璃,鍍Cr理由在于其低反射率(Stepper內部,避免光到處亂反射,因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路徑是固定不變的,當采用Normal或Hyper-shot的方式時,前板、后板便移動到光路徑上交錯去define出所要曝光的區域。在前板的上方、后板的下方采漸層的coating,寬度大約4.0 mm (投影在Stage約5mm),Hoper-shot關鍵在于此漸層coating(控制y軸的overlap)以及blade左、右移動速度的control(控制x軸的overlap),此漸層coating以及等速度的控制可以讓光有intensity變化。
shot的repeat的動作時,因為擔心shot的接合處不佳,因此設計上會讓shot在接合處overlap 2um,在接縫處讓能量產生漸進式的變化,來達成無縫的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的區域,在y軸是采用漸層coating,而x軸則是控制速度。
Hyper-shot mode下,移動blade的傳動軸以x軸最為頻繁,所以在做Hyper-shot保養時x軸大約1個月保養1次,y軸則是大約半年做一次。
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意圖
GE 信號OFF時Source和Drain是一斷路狀態電流無法流通使pixel充電GEG-SiNxa-SiSourceDrain電流GE 信號ON時Source和Drain是一通路狀態電流由Drain經a-Si流向Source使pixel充電Each blade Hyper-shot前后都有石英玻璃,前板的玻璃,內側鍍有Cr,為防止particle掉在pattern上,另一側都有保護玻璃,鍍Cr理由在于其低反射率(Stepper內部,避免光到處亂反射,因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路徑是固定不變的,當采用Normal或Hyper-shot的方式時,前板、后板便移動到光路徑上交錯去define出所要曝光的區域。在前板的上方、后板的下方采漸層的coating,寬度大約4.0 mm (投影在Stage約5mm),Hoper-shot關鍵在于此漸層coating(控制y軸的overlap)以及blade左、右移動速度的control(控制x軸的overlap),此漸層coating以及等速度的控制可以讓光有intensity變化。
shot的repeat的動作時,因為擔心shot的接合處不佳,因此設計上會讓shot在接合處overlap 2um,在接縫處讓能量產生漸進式的變化,來達成無縫的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的區域,在y軸是采用漸層coating,而x軸則是控制速度。
Hyper-shot mode下,移動blade的傳動軸以x軸最為頻繁,所以在做Hyper-shot保養時x軸大約1個月保養1次,y軸則是大約半年做一次。
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