資料介紹
本章介紹芯片生產(chǎn)工藝的概況。(1)通過在器件表面生成電路元件的工藝順序,來闡述4種最基本的平面制造工藝。(2)解釋從電路功能設(shè)計(jì)圖到光刻掩膜版生產(chǎn)的電路設(shè)計(jì)過程。(3)闡述了晶圓和器件的相關(guān)特性與術(shù)語。
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