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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>MEMS慣性傳感器簡介

      MEMS慣性傳感器簡介

      2010-07-08 | rar | 64 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是指集機(jī)械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。微型機(jī)電系統(tǒng)可以在諸如硅、石英等不同的基體材料之上加工而成，以硅為基體材料的微機(jī)電系統(tǒng)稱之為硅微機(jī)電系統(tǒng)，而以硅為基體材料實現(xiàn)的慣性傳感器件即為硅微慣性傳感器。
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