資料介紹
壓電晶體的壓電效應和逆壓電效應在科學技術領域得到了廣泛的應用。壓電晶體作為基片制備出的聲表面器件因其優良的電性能,易于實現器件小型化,被廣泛的應用于通訊,雷達,導航等。近年來,新型壓電晶體材料A3BC3D2O14硅酸鎵鑭結構晶體在聲表面波、體表面波濾波器以及傳感器等方面得到了廣泛的應用。鎵鑭系列材料如La3Ga5.5Nb0.5O14(LGN)、 La3Ga5.5Ta0.5O14(LGT)和La3Ga5SiO14(LGS)具有聲表面波速度小,機電耦合系數大等特點,有利于制備器件的小型化。另外,這類晶體的熔點很高,在高溫下比較穩定,可以用來制備高溫傳感器,濾波器。本文設計了LGS晶體濾波器,介紹其結構,計算了聲表面波濾波器的頻率響應特性,與石英進行比較,為聲表面波器件的制備打下理論基礎。
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