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具有空腔的相對濕度(RH)傳感器專門用于測量空氣中存在的水蒸汽。存儲環境中濕度過高會直接加劇腐爛程度，空氣中的濕度會直接影響系統可靠性（腐蝕）或產品壽命，因此，相對濕度是一項重要的測量指標。
相對濕度傳感器面臨的難題之一是其暴露的感應元件會隨著時間的推移而老化。持續暴露在潮濕空氣和環境中的揮發性有機化合物，例如在傳感器材料上沉積的苯或乙二醇，會導致傳感器的精度偏離其規格。這需要停用系統以更換或校準傳感器，從而增加總擁有成本。在本文中，我將討論相對濕度傳感器的精度和長期漂移，以及這些參數如何影響終端設備的性能和壽命。
長期漂移和精度是濕度傳感器的一些重要規格。在當今的濕度傳感器中，尤其是電容式傳感器，通常具有2%到3%的相對濕度精度和最大3%到4%的相對濕度精度。這種精度就是所謂的傳感器在投入現場實際使用之前的初始精度，并且不包括長期漂移。
電容式傳感器的…
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