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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>先進封裝廠關于Bump尺寸的管控：BOKI_1000粗糙度測量設備-凹凸計量系統

      先進封裝廠關于Bump尺寸的管控：BOKI_1000粗糙度測量設備-凹凸計量系統

      2023-08-17 | docx | 0.47 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

       

      以粗糙度指標為例，電鍍工藝后的Cu 表面粗糙并存在一定的高度差，所以鍵合前需要對其表面進行平坦化處理，如化學機械拋光(CMP)，使得鍵合時Cu 表面能夠充分接觸，實現原子擴散，由此可見把控Bump表面粗糙度是必不可缺的過程。

       

      為了貼合工藝制程，積極響應客戶Bump 計量需求，中圖儀器以高精度、多功能合一等優勢將自研量測設備推向眾多半導體客戶。BOKI_1000系統支持鍵合、減薄、翹曲和切割后的基板，可以為包括切割后、預鍵合、銅焊盤圖案化、銅柱、凸塊（Bump）、硅通孔（TSV）和再分布層（RDL）在內的特征提供優異的量測能力。

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