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利用太陽(yáng)能電池發(fā)電是解決能源問(wèn)題和環(huán)境問(wèn)題的重要途徑之一。目前，80%以上的太陽(yáng)電池是由晶體硅材料制備而成的，制備高效率低成本的晶體硅太陽(yáng)能電池對(duì)于大規(guī)模利用太陽(yáng)能發(fā)電有著十分重要的意義。減反射膜的制備和氫鈍化是制備高效率的晶體硅太陽(yáng)電池的非常重要工序之一。減反射膜的對(duì)光的吸收又與那些因素有關(guān)呢？本實(shí)驗(yàn)將就鍍膜功率、鍍膜溫度、鍍膜時(shí)間等對(duì)氮化硅減反射膜的影響進(jìn)行測(cè)試。實(shí)驗(yàn)表明氮化硅薄膜的沉積速率隨硅烷/氨氣流量比增大而增大，隨溫度升高而略有降低,隨沉積功率增大而明顯增加，氮化硅薄膜的折射率隨硅烷/氨氣流量比增大而增大，隨溫度升高而略有增加,隨沉積功率增大而略為降低。
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