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高性能MEMS加速度計為各種集成慣性測量的應用提供低成本 解決方案。具體例子包括：導航和AHRS系統，用于機器健康狀 況檢測的振動監控，基礎設施的結構健康狀況監控，以及用于 平臺穩定、井下定向鉆探的傾斜監控、施工行業平路機和勘測 設備的調平、吊車穩定系統吊桿傾角測量的高精度傾角計。在 大多數此類例子中，加速度計會經受不同幅度的振動。這些應 用的另一個不同方面是振動的頻率成分。振動與傳感器和系統 誤差源相結合可能導致振動校正，這是高性能加速度計的一個 重要指標。本文說明MEMS加速度計中的振動校正是如何發生 的，并討論各種測量此參數的技術。作為案例研究，本文會討 論低噪聲、低功耗加速度計ADXL355的振動校正。低振動校正 誤差以及所有其他特性，使這款器件成為上述精密應用的理想 之選。
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