電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
??????? 離子注入是另一種對半導體進行摻雜的方法。將雜質電離成離子并聚焦成離子束，在電場中加速而獲得極高的動能后，注入到硅中（稱為 “靶” ）而實現摻雜。
??????? 離子束是一種帶電原子或帶電分子的束狀流，能被電場或磁場偏轉，能在高壓下加速而獲得很高的動能。
??????? 離子束的用途
??????? 摻雜、曝光、刻蝕、鍍膜、退火、凈化、改性、打孔、切割等。不同的用途需要不同的離子能量 E ：
?????????????????????????????? E? < 10 KeV ，刻蝕、鍍膜
?????????????????????????????? E? = 10 ~ 50 KeV，曝光
?????????????????????????????? E? > 50 KeV，注入摻雜???????
?離子束加工方式可分為
?1、掩模方式（投影方式）
?2、聚焦方式（掃描方式，或聚焦離子束（FIB）方式）
??????? 掩模方式是對整個硅片進行均勻的地毯式注入，同時象擴散工藝一樣使用掩蔽膜來對選擇性區域進行摻雜。擴散工藝的掩蔽膜必須是 SiO2 膜，而離子注入的掩蔽膜可以是 SiO2 膜，也可以是光刻膠等其他薄膜。
??????? 掩模方式用于摻雜與刻蝕時的優點是 生產效率高，設備相對簡單，控制容易，所以應用比較早，工藝比較成熟。缺點是 需要制作掩蔽膜。
?
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 離子注入高效SE電池 3次下載
- 提高直升機齒輪傳動干運轉能力的離子注入技術 42次下載
- 離子注入生物實驗的計算機控制技術研究 0次下載
- 離子束注入技術應用 0次下載
- 離子注入知識常見問答 0次下載
- 離子注入工藝(ion implantation) 118次下載
- 大規模集成技術5-離子注入ppt 0次下載
- 金屬表面改性用離子注入的機理和特點 68次下載
- 用離子注入技術實現金屬表面的改性 61次下載
- 集成電路工藝技術講座-離子注入(Ion implantation) 0次下載
- 等離子體源離子注入技術及其應用 48次下載
- 離子注入工藝 (課程設計資料) 83次下載
- 離子注入摻雜銳鈦礦TiO2薄膜的光學性能 16次下載
- M5525100－1/UM型大角度離子注入機
- 4H-SiC離子注入層的歐姆接觸的制備
- SiC與GaN 功率器件中的離子注入技術挑戰 701次閱讀
- 介紹離子注入在電容極板和濕法腐蝕自停止技術上的應用 575次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入的應用介紹 3990次閱讀
- 一文解析離子注入的溝道效應 2160次閱讀
- 離子注入中的劑量和濃度之間有何關系呢？ 1969次閱讀
- 離子注入涉及到的隧道效應為什么需要7°角？ 1116次閱讀
- 原位摻雜、擴散和離子注入的相關原理及其區別介紹 3852次閱讀
- 碳化硅離子注入和退火工藝介紹 2424次閱讀
- 什么是離子注入？離子注入相對于擴散的優點？ 3173次閱讀
- SEM/FIB雙束系統截面加工：實現離子的成像、注入、刻蝕和沉積 1014次閱讀
- 離子注入技術發展趨勢 525次閱讀
- 半導體離子注入工藝評估 3749次閱讀
- 半導體工藝裝備現狀及發展趨勢 1539次閱讀
- 半導體制造之離子注入工藝簡述 2126次閱讀
- 離子注入技術的優點和應用 2373次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費下載
- 0.00 MB | 1490次下載 | 免費
- 2單片機典型實例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實例詳細資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 10次下載 | 免費
- 6基于AT89C2051/4051單片機編程器的實驗
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費
- 7基于單片機和 SG3525的程控開關電源設計
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
- 8基于單片機的紅外風扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費
- 4LabView 8.0 專業版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費
- 5555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費
- 8開關電源設計實例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費
工商網監
評論