接觸Silvaco TCAD仿真軟件已經(jīng)有很長(zhǎng)時(shí)間了，這期間還熟悉了一下ISE TCAD。學(xué)習(xí)的過(guò)程中，老師、師兄姐和同學(xué)給了我極大的幫助。這本書的主旨就是希望提供-些對(duì)于Silvaco仿真的可資借鑒的經(jīng)驗(yàn)。學(xué)習(xí)和使用Silvaco的時(shí)候各人的視角會(huì)不一樣，雖然這本書只是介紹一些常用的仿真，例句也有限，但因?yàn)榱鞒炭刂坪驼Z(yǔ)法都有相通的地方，完全可以參照本書和手冊(cè)的說(shuō)明靈活地建立仿真以及仿真--些本書未提及的特性。

　　寫本書的另-個(gè)動(dòng)力是想體驗(yàn)- 下ITEX在排版書籍上和word的不同。經(jīng)過(guò)這次編排覺(jué)得各有優(yōu)缺點(diǎn)。MIEX對(duì)排圖片和表格這些浮動(dòng)元素很費(fèi)力。我在排此書的時(shí)候經(jīng)常遇到圖片和表格按照自動(dòng)方式排的位置很差，和文字內(nèi)容脫節(jié)很遠(yuǎn)，為此不得不處理圖片，有時(shí)還將表格拆開等。如果各位遇到很脫節(jié)的地方還請(qǐng)見諒。MTEX的使用需要有很強(qiáng)的耐心和探索精神，也可以說(shuō)是犧牲精神。不管是MS Ofice還是ETEX，總的目的是想內(nèi)容通順，閱讀起來(lái)舒服，用什么工具就是“八仙過(guò)海，各顯神通”了。

　　第一章仿真準(zhǔn)備

　　這一章主要介紹TCAD的基本概念，DeckBuild的 主要組件以及DeckBuild的命令（extract，go，set和tonyplot），Silvaco文檔的分 布和學(xué)習(xí)方法等。

　　1.1 認(rèn)識(shí)Silvaco TCAD

　　TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半導(dǎo)體工藝模擬以及器件模擬工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas， Synopsys公 司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已經(jīng)被Synopsys公司收購(gòu)）的Dios和Dessis。 Synopsys 公司最新發(fā)布的TCAD工具命名為Sentaurus。

　　1.1.1數(shù)值計(jì)算

　　計(jì)算機(jī)仿 真必須基于數(shù)值計(jì)算。Silvaco中 的數(shù)值計(jì)算是基于一系列的物理模型及其方程的，而方程中的某些量又用其他的方程來(lái)描述。然而實(shí)際的物理系統(tǒng)非常復(fù)雜，信息量也非常巨大，必須將其離散化，那么自然地半導(dǎo)體仿真應(yīng)用上就基于網(wǎng)格計(jì)算。

　　網(wǎng)格計(jì)算：將半導(dǎo)體仿真區(qū)域劃分成網(wǎng)格，在網(wǎng)格點(diǎn)處計(jì)算出希望得到的特性（如：電學(xué)性質(zhì)，光學(xué)性質(zhì)，工藝步驟的速率等等）。

　　數(shù)值計(jì)算必須考慮的問(wèn)題：

　　●精確性（和網(wǎng)格密度、計(jì)算的步長(zhǎng)疏密、算法和物理模型的選擇等有關(guān)）

　　●計(jì)算速度（ 和網(wǎng)格密度、計(jì)算步長(zhǎng)的疏密以及算法等有關(guān)）

　　●收斂性（和計(jì)算步長(zhǎng)的疏密、初始值以及算法有關(guān)）

　　仿真計(jì)算時(shí)參數(shù)設(shè)置上需要在精確性、計(jì)算速度和收斂性之間取得折衷。網(wǎng)格點(diǎn)的密度和計(jì)算的精確度有關(guān)，但Silvaco中 的網(wǎng)格點(diǎn)總數(shù)是有限制的。請(qǐng)注意，網(wǎng)格點(diǎn)太多導(dǎo)致信息量太大，在仿真時(shí)會(huì)報(bào)錯(cuò)。