資料介紹
新的 DFM 設計流程使用了明導的Calibre YieldAnalyzer 在所有的版圖設計層進行關鍵區域分析(CAA)。CAA 能夠找出易發生因為隨機微粒所造成的版圖布局短路或斷路缺陷的區域。Calibre YieldAnalyzer 也進行關鍵特征分析(CFA),對傳統建議的規則進行擴大分析。YieldAnalyzer 使用了一個基于模型的方法來自動把布局幾何測量參數填入良品率公式來確定布局設計中對制造工藝的變異窗口具有高敏感度的區域。之后YieldAnalyzer 就把結果數據以便于理解的圖表形式呈現給工程師。舉例來說,CFA 分析能夠確定由于工藝變異所引起的系統性問題的熱點,這些問題包括光刻、CMP、阻抗穩定性和蝕刻特性。YieldAnalyzer 為設計師提供專門指導使他們能夠快速確定熱點,并進行優先級的評級,來決定對布局層做怎樣的改動可以最大程度的提高良品率。
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