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      半導(dǎo)體器件可靠性及工藝控制

      2011-10-31 | pdf | 657 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      重點(diǎn)介紹了國內(nèi)外半導(dǎo)體器件制造工藝與器件可靠性的相關(guān)性報(bào)道，還介紹了關(guān)鍵工藝控制點(diǎn)的確定機(jī)器參數(shù)控制范圍以及生產(chǎn)高質(zhì)量、高可靠性器件的工藝環(huán)境的控制要求

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