資料介紹
本文檔的主要內容詳細介紹的是半導體集成電路的三個經典問題資料說明包括了:1.名詞解釋:隱埋層,寄生晶體管,介質隔離,PN結隔離。2.簡單敘述一下PN結隔離的npn晶體管的光刻步驟?3.四層三結的結構的雙極性晶體管中隱埋層的作用是什么?
隱埋層: 是隱埋在硅片體內的高摻雜低電阻區
寄生晶體管: 指有寄生電容的晶體管,寄生電容是通常無可避免卻又不被需要,僅因為電路元件相互接近而產生的電容。
介質隔離: 雙極型集成電路中的介質隔離常采用氧化物隔離方法,即在形成三極管區域的四周構筑一隔離環,該隔離環為二氧化硅絕緣體,因而集成電路中的各個三極管之間,以及各三極管與其他元件之間是完全電隔離的。
PN結隔離:兩個晶體管分別在兩個隔離區內,他們的集電區是n型外延層,兩個晶體管的集電區間隔著兩個背靠背的pn結,只要使p型襯底的電位比晶體管的集電區的電位低,兩個晶體管就被反向偏置的pn結的直流高阻所隔開,實現所謂的電學隔離的目的。
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