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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>二氧化硅薄膜應用領域及特性的詳細資料說明

      二氧化硅薄膜應用領域及特性的詳細資料說明

      2020-03-10 | docx | 0.12 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　SiO2 薄膜具有良好的硬度、光學、介電性質(zhì)及耐磨、抗蝕、機械等特性，在光學、微電子等領域有著廣泛的應用前景

      　　SiO2薄膜已經(jīng)是一種普通應用于各個領域的重要膜層（增透膜、多層膜、保護膜、濾光片…等）。在光學薄膜濾光片中，SiO2 薄膜是很好的一種單層抗反射膜，更是最常用的一種低折射率膜層，用來鍍制多層光學薄膜濾光片；在鍍膜工藝中，作為金屬或者其他材料的表面抗刮和保護層；在半導體技術方面，常用來當作絕緣層的一種材料。

      　　SiO2薄膜其穿透區(qū)涵蓋0.15μm 至 8μm，具有很小的吸收損耗；和多數(shù)不同材料的基板擁有良好的附著性，表面也具有良好的耐刮性；結(jié)構穩(wěn)定，不易與其他材料發(fā)生反應，產(chǎn)生變質(zhì)，具有耐酸性、抗腐蝕的優(yōu)點。

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