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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體的UBM蝕刻詳細介紹

      半導體的UBM蝕刻詳細介紹

      2020-09-29 | docx | 0.19 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　圖1為覆晶（Flip Chip）技術沈積錫鉛凸塊之流程圖，在電鍍積錫鉛凸塊之后會進行光阻去除（PP Stripping）和UBM蝕刻，其中UBM蝕刻是以凸塊或光阻當作蝕刻屏蔽層（Etching mask），然后將未被覆蓋之UBM金屬層作蝕刻去除，以隔離個別凸塊。它是覆晶技術中的一個關鍵制程，因為UBM蝕刻不完全，將會引起電性短路（Short）；反之如果UBM過度蝕刻，則會造成底切（Undercut）問題，甚至蝕刻到凸塊本身，最后影響電子組件之可靠度。

      　　在UBM蝕刻制程中，根據不同的UBM金屬層種類和厚度、蝕刻液之化學特性、凸塊圖案、必須靈活性地搭配不同的蝕刻方式，以達到最佳之蝕刻均勻性。

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