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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>功率半導體器件芯片背面多層金屬層技術的詳細資料說明

      功率半導體器件芯片背面多層金屬層技術的詳細資料說明

      2021-02-05 | rar | 1.69 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　本文闡運了功率半導體器件芯片背面需要多層金屬層，才能滿足芯片和底座問電學和散熱的要求。討論了多層金屬層分布的選擇原則和制備中的注意事項。表明該技術具有重大的經濟效益。

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