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非平衡磁控濺射系統(tǒng)磁場的半解析法:應用電磁場分析中的一種新方法———半解析法，對一種典型的非平衡磁控濺射系統(tǒng)進行了磁場分析) 結果表明，應用半解析法計算，求解變量少、方法簡單，而且計算精度高，該方法相對于等效源法有嚴密的理論依據，標量位函數的表達式為級數解析式，有利于場強的計算，更有利于優(yōu)化設計)
關鍵詞：非平衡磁控濺射，半解析法，標量磁位，磁場強度
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