資料介紹
目前,產業化的高電壓大功率絕緣柵雙極晶體管(Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT)普遍采用新結構設計制造技術,以ABB、三菱、東芝和日立等為代表的國際領先研發制造公司均采用了新結構設計制造技術,如軟穿通技術、注入增強門極晶體管( Injection Enhanced Gate Transistor, IEGT)技術、載流子存儲增強技術和平面注入增強技術等。
在前期高速絕緣柵雙極晶體管( IGBT)的基礎上提出一種高速集電極溝槽絕緣柵雙極晶體管( CT-IGBT)。該器件溝槽集電極與漂移區的內建電勢差感應形成電子溝道而加快關斷速度,且集電極溝槽具有不同于傳統電場截止層( FS)的電場截止機制,并引入低濃度N型層以降低集電極溝槽對空穴注入的抑制作用。硅基材料有限元仿真結果表明,新結構CT-IGBT的關斷下降時間比傳統溝槽FS-IGBT少49%,且前者耐受的雪崩能量比后者高32%。因此,新結構CT-IGBT具有比FS-IGBT更優越的關斷速度和強度,可應用于大功率高速電力電子系統。
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