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CMOS技術在毫米波電路中的應用越來越受到關注，比如60 CHz高速無線通信，24 G Hz和77 GHz汽車雷達等。傳輸線作為一種無源器件可以實現(xiàn)電感、電容以及阻抗變換器的功能，廣泛應用于級間匹配、單端轉(zhuǎn)差分變換和功率合成中。共面波導（CPW）是毫米波電路中最常使用的傳輸線結(jié)構，其不但能夠方便地通過改變多個物理尺寸參數(shù)以及屏蔽層結(jié)構來調(diào)節(jié)性能參數(shù)，而且擁有良好的電流同路從而減小了模型建立的不確定性。不帶屏蔽層結(jié)構的普通共面波導（CCPW）受到有耗硅襯底的影響，傳輸損耗較大，慢波共面波導（SCPW）被引入來解決這個問題，其結(jié)構中含有的由底層金屬制成的屏蔽層將電場存儲在屏蔽層與信號線之間，消除了硅襯底對CPW主體的影響。
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