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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>機電一體化技術論文>微型機電系統的特點及應用

      微型機電系統的特點及應用

      2018-01-23 | rar | 1.24 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　科學技術向微小領域發展，由毫米級、微米級繼而涉足納米級，人們把這個領域的技術稱之為微米以納米技術。微米以納米技術使人類在認識和改造自然方面進入一個新的層次，開發物質潛在的信息和結構能力，使單位體積信息處理和運動控制的能力實現又一次飛躍。將在信息、材料、生物醫療、航空航天和工業等方面產生重大影響。微型機電系統（M EMS）是其中的一個新興的高科技領域，提到它就會聯想到微電子技術。當前“奔騰Ⅲ”的一片芯片上就有950萬個晶體管。微電子器件的開關速度受電子傳輸路徑長度的限制，其微型化要求迫切。美國規劃微電子線寬由1998年的Q 2um、2001年的Q 18um，發展到2010年的Q 07um，科學家還要進一步突破其極限。微電子技術的另一重大貢獻是在其基礎上發展了M EM S。一般M EM S是基于硅材料技術的。硅的機械和電子性能好，已有的微加工技術和設備還在發展，微電子和微機械的集成化潛力巨大。

      微型機電系統的特點及應用

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