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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>機電一體化技術論文>MEMS器件中多層金屬薄膜濺射工藝研究

      MEMS器件中多層金屬薄膜濺射工藝研究

      2018-02-04 | rar | 1.52 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　微機電系統（ micro-electro-mechanical svstem，MEMS）是指可以批量制造的集微結構、微傳感器、微執行器以及信號處理和控制電路等于一體的器件或系統。薄膜是MEMS技術巾最常用的材料和手段，多層膜是將2種以上的不同材料先后沉積在同一個襯底上，以改善薄膜同襯底間的粘附性。薄膜的厚度從納米（ nm）到微米（um）級，遠小于其他二維方向。同體材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易產生尺寸效應，如薄膜材料的特性會受到薄膜厚度的影響，表現Im與體材料不同的物理性質。薄膜的研究主要包括薄膜材料和薄膜制備技術，薄膜材料分為金屬薄膜、半導體薄膜、絕緣體薄膜等；制備技術包括物理氣相沉積、化學氣相沉積、旋涂等。在各種薄膜制備技術中，濺射鍍膜技術由于能制備高熔點材料、復合材料薄膜以及具有沉積速率快、可控性好等優點得到了廣泛的應用。

      MEMS器件中多層金屬薄膜濺射工藝研究

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