資料介紹
一、? 原理
在板面銅箔上貼上一層感光材料(感光油或干膜),然后通過黑菲林進行對位曝光,顯影后形成線路圖形。
二、? 工藝流程圖:
三、化學清洗
1.??? 設備:化學清洗機
2.??? 作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;
???????? b. 粗化Cu表面,增強Cu表面與感光油或干膜之間的結合力。
3.??? 流程圖:
?
4.??? 檢測洗板效果的方法:
a.?a.??? 水膜試驗,b.?要求≥30s
5.??? 影響洗板效板的因素:除油速度、除油劑濃度、微蝕溫度、總酸度、Cu2+濃度、壓力、速度
6.??? 易產生的缺陷:開路(清洗效果不好導致甩菲林),短路(清潔不凈產生垃圾)。
四、轆干膜
1.??? 設備:手動轆膜機
2.??? 作用:在銅板表面上貼上一層感光材料(干膜);
3.??? 影響貼膜效果的主要因素:溫度、壓力、速度;
4.??? 貼膜易產生的缺陷:內短(菲林碎導致Cu點)、內開(甩菲林導致少Cu);
五、轆感光油
1.??? 設備:轆感光油機、自動粘塵機;
2.??? 作用:在已清洗好的銅面上轆上一層感光材料(感光油);
3.??? 流程:
?
4.?????? 影響因素:感光油粘度、速度;焗板溫度、速度。
5.??? 產生的缺陷:內開(少Cu)。
六、曝光
1.??? 設備/工具:曝光機、10倍鏡、21Step曝光尺、手動粘塵轆;
2.??? 曝光機,在已轆感光油或干膜的板面上拍菲林后進行曝光,從而形成線路圖形;
3.??? 影響曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清潔度;
4.??? 易產生的缺陷:開路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。
七、DES LINE
I、顯影
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:將未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分從而形成線路;
3.??? 主要藥水:Na2CO3溶液;
4.??? 影響顯影的主要因素:
a.?a.??? 顯影液Na2CO3濃度;
b.?b.??? 溫度;
c.?c.??? 壓力;
d.?d.??? 顯影點;
e.?e.??? 速度。
5.??? 易產生的主要缺陷:開路(沖板不盡、菲林碎)、短路(沖板過度)。
II、蝕刻:
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:蝕去沒有感光材料保護的Cu面,從而形成線路;
3.??? 主要藥水:HCl、H2O2、CuCl2;
4.??? 影響因素:Cu2+濃度、濕度、壓力、速度、總酸度;
5.??? 易產生的主要缺陷:短路(蝕刻不盡)、開路(蝕刻過度)。
III、褪膜:
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:溶解掉留在線路上面的已曝光的感光材料;
3.??? 主要藥水:NaOH
4.??? 影響因素:NaOH濃度、溫度、速度、壓力;
5.??? 易產生的主要缺陷:短路(褪膜不盡)。
八、啤孔:
1.??? PE啤機;
2.??? 作用:為過AOI及排板啤管位孔;
3.??? 易產生缺陷:啤歪孔。
九、環境要求:
1. 潔凈房:
溫度:203℃?? ;? 相對濕度:555% 含塵量:0.5m以上的塵粒≤10K/立方英尺
? 2. PE機啤孔房: 溫度:205℃?? ;? 相對濕度:40~60%
十、安全守則:
1.?1.??? 化學清洗機及DES LINE加藥水時必須戴防酸防堿的膠手套,2.?保養時須戴防毒面罩;
3.?2.??? 手不4.?能接觸正在運作的轆板機熱轆;
5.?3.?????? 不6.?得赤手接觸感光油,7.?保養ROLLER COATER機時必須戴防毒面罩;
8.?4.?????? 未斷電時不9.?得打開曝光機機門,10.?更不11.?能讓UV光漏出。
十一、環保事項:
1.??? 化學處理機及DES LINE的廢水及廢液在每班下班之前半個小時經專一的管道排放至廢水站進行處理。
2.??? 干膜之邊角料、廢紙箱、廢紙皮、報廢黑菲林、菲林保護膜等由生產部收集起來放在垃圾桶內,由清潔工收走。
3.??? 空感光油膜桶、硫酸桶、鹽酸桶、除泡劑瓶、菲林水桶及片堿袋由生產部依MEI051處理回倉。
在板面銅箔上貼上一層感光材料(感光油或干膜),然后通過黑菲林進行對位曝光,顯影后形成線路圖形。
二、? 工藝流程圖:
三、化學清洗
1.??? 設備:化學清洗機
2.??? 作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;
???????? b. 粗化Cu表面,增強Cu表面與感光油或干膜之間的結合力。
3.??? 流程圖:
?
4.??? 檢測洗板效果的方法:
a.?a.??? 水膜試驗,b.?要求≥30s
5.??? 影響洗板效板的因素:除油速度、除油劑濃度、微蝕溫度、總酸度、Cu2+濃度、壓力、速度
6.??? 易產生的缺陷:開路(清洗效果不好導致甩菲林),短路(清潔不凈產生垃圾)。
四、轆干膜
1.??? 設備:手動轆膜機
2.??? 作用:在銅板表面上貼上一層感光材料(干膜);
3.??? 影響貼膜效果的主要因素:溫度、壓力、速度;
4.??? 貼膜易產生的缺陷:內短(菲林碎導致Cu點)、內開(甩菲林導致少Cu);
五、轆感光油
1.??? 設備:轆感光油機、自動粘塵機;
2.??? 作用:在已清洗好的銅面上轆上一層感光材料(感光油);
3.??? 流程:
?
4.?????? 影響因素:感光油粘度、速度;焗板溫度、速度。
5.??? 產生的缺陷:內開(少Cu)。
六、曝光
1.??? 設備/工具:曝光機、10倍鏡、21Step曝光尺、手動粘塵轆;
2.??? 曝光機,在已轆感光油或干膜的板面上拍菲林后進行曝光,從而形成線路圖形;
3.??? 影響曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清潔度;
4.??? 易產生的缺陷:開路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。
七、DES LINE
I、顯影
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:將未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分從而形成線路;
3.??? 主要藥水:Na2CO3溶液;
4.??? 影響顯影的主要因素:
a.?a.??? 顯影液Na2CO3濃度;
b.?b.??? 溫度;
c.?c.??? 壓力;
d.?d.??? 顯影點;
e.?e.??? 速度。
5.??? 易產生的主要缺陷:開路(沖板不盡、菲林碎)、短路(沖板過度)。
II、蝕刻:
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:蝕去沒有感光材料保護的Cu面,從而形成線路;
3.??? 主要藥水:HCl、H2O2、CuCl2;
4.??? 影響因素:Cu2+濃度、濕度、壓力、速度、總酸度;
5.??? 易產生的主要缺陷:短路(蝕刻不盡)、開路(蝕刻過度)。
III、褪膜:
1.??? 設備:DES LINE;
2.??? 作用:溶解掉留在線路上面的已曝光的感光材料;
3.??? 主要藥水:NaOH
4.??? 影響因素:NaOH濃度、溫度、速度、壓力;
5.??? 易產生的主要缺陷:短路(褪膜不盡)。
八、啤孔:
1.??? PE啤機;
2.??? 作用:為過AOI及排板啤管位孔;
3.??? 易產生缺陷:啤歪孔。
九、環境要求:
1. 潔凈房:
溫度:203℃?? ;? 相對濕度:555% 含塵量:0.5m以上的塵粒≤10K/立方英尺
? 2. PE機啤孔房: 溫度:205℃?? ;? 相對濕度:40~60%
十、安全守則:
1.?1.??? 化學清洗機及DES LINE加藥水時必須戴防酸防堿的膠手套,2.?保養時須戴防毒面罩;
3.?2.??? 手不4.?能接觸正在運作的轆板機熱轆;
5.?3.?????? 不6.?得赤手接觸感光油,7.?保養ROLLER COATER機時必須戴防毒面罩;
8.?4.?????? 未斷電時不9.?得打開曝光機機門,10.?更不11.?能讓UV光漏出。
十一、環保事項:
1.??? 化學處理機及DES LINE的廢水及廢液在每班下班之前半個小時經專一的管道排放至廢水站進行處理。
2.??? 干膜之邊角料、廢紙箱、廢紙皮、報廢黑菲林、菲林保護膜等由生產部收集起來放在垃圾桶內,由清潔工收走。
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