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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>單晶硅各向異性腐蝕的微觀動態模擬

      單晶硅各向異性腐蝕的微觀動態模擬

      2009-07-02 | rar | 368 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      根據單晶硅各向異性腐蝕的特點，以晶格內部原子鍵密度為主要因素，溫度、腐蝕液濃
      度等環境因素為校正因子，建立了一個新穎的硅各向異性腐蝕的計算機模擬模型。在+,--開發環境下利用./0123 技術，實現了硅各向異性腐蝕過程的三維微觀動態模擬，為深刻理解硅的各向異性腐蝕過程提供了直觀的界面。
      硅各向異性腐蝕技術是MEMS加工的核心工藝之一。硅的各向異性腐蝕，是指硅的不同晶面具有不同的腐蝕速率1］。基于這種腐蝕特性，可在硅襯底上加工出各種各樣復雜的三維微結構。如果能精確的對各向異性腐蝕的結果進行計算機模擬，那么對于MEMS計算機輔助設計系統的建立和MEMS工藝水平的提高，都有重要的意義2］。
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